| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 TA15钛合金 | 第13-14页 |
| 1.2.1 TA15钛合金的特性 | 第13-14页 |
| 1.2.2 TA15钛合金的应用 | 第14页 |
| 1.2.3 TA15钛合金的限制 | 第14页 |
| 1.3 TA15钛合金表面处理技术的现状 | 第14-15页 |
| 1.3.1 激光熔覆 | 第14-15页 |
| 1.3.2 微弧氧化 | 第15页 |
| 1.3.3 热障涂层 | 第15页 |
| 1.3.4 渗硼技术 | 第15页 |
| 1.3.5 电镀技术 | 第15页 |
| 1.4 磁控溅射技术 | 第15-16页 |
| 1.4.1 基本原理 | 第16页 |
| 1.4.2 技术特点 | 第16页 |
| 1.4.3 发展趋势 | 第16页 |
| 1.5 硬质薄膜的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5.1 硬质薄膜的发展 | 第17页 |
| 1.5.2 金属氮化物硬质薄膜的现状 | 第17页 |
| 1.6 课题的研究背及研究内容 | 第17-20页 |
| 1.6.1 课题的提出 | 第17-18页 |
| 1.6.2 可行性分析 | 第18页 |
| 1.6.3 课题的研究内容 | 第18-19页 |
| 1.6.4 技术路线 | 第19-20页 |
| 第二章 实验材料、设备及方案 | 第20-27页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验材料 | 第20页 |
| 2.3 实验设备 | 第20-22页 |
| 2.4 性能测试与表征 | 第22-24页 |
| 2.4.1 表面形貌及结构分析 | 第22页 |
| 2.4.2 纳米压痕测试 | 第22-23页 |
| 2.4.3 薄膜结合力测试 | 第23-24页 |
| 2.4.4 AFM测试 | 第24页 |
| 2.5 摩擦磨损试验 | 第24-27页 |
| 2.5.1 试验原理 | 第24-25页 |
| 2.5.2 检测分析 | 第25-27页 |
| 第三章 AlN/AlCrN薄膜的制备 | 第27-39页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 试验结果与分析 | 第27-37页 |
| 3.2.1 溅射气压对AlN/AlCrN薄膜的影响 | 第27-29页 |
| 3.2.2 溅射功率对AlN/AlCrN薄膜的影响 | 第29-32页 |
| 3.2.3 Ar/N2流量比对AlN/AlCrN薄膜的影响 | 第32-33页 |
| 3.2.4 沉积时间对AlN/AlCrN薄膜的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.5 靶基距对AlN/AlCrN薄膜的影响 | 第35-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 AlN/AlCrN薄膜的组织结构和力学性能分析 | 第39-44页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 AlN/AlCrN薄膜的形貌与成分 | 第39-40页 |
| 4.3 AlN/AlCrN薄膜的相结构 | 第40页 |
| 4.4 AlN/AlCrN薄膜的纳米硬度 | 第40-41页 |
| 4.5 AlN/AlCrN薄膜的粗糙度 | 第41-42页 |
| 4.6 AlN/AlCrN薄膜的结合强度 | 第42-43页 |
| 4.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 AlN/AlCrN薄膜的摩擦行为的影响 | 第44-70页 |
| 5.1 引言 | 第44页 |
| 5.2 载荷因素对AlN/AlCrN薄膜摩擦行为的影响 | 第44-52页 |
| 5.2.1 摩擦系数 | 第44-45页 |
| 5.2.2 摩擦形貌 | 第45-52页 |
| 5.2.3 磨损率 | 第52页 |
| 5.2.4 磨损行为分析 | 第52页 |
| 5.3 速度因素对AlN/AlCrN薄膜摩擦行为的影响 | 第52-60页 |
| 5.3.1 摩擦系数 | 第53页 |
| 5.3.2 摩擦形貌 | 第53-59页 |
| 5.3.3 磨损率 | 第59-60页 |
| 5.3.4 磨损行为分析 | 第60页 |
| 5.4 温度因素对AlN/AlCrN薄膜摩擦行为的影响 | 第60-69页 |
| 5.4.1 摩擦系数 | 第60-61页 |
| 5.4.2 摩擦形貌 | 第61-67页 |
| 5.4.3 磨损率 | 第67-68页 |
| 5.4.4 磨损行为分析 | 第68-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果及发表的学术论文 | 第79页 |
