化学机械微细磨削化学改性液理化性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 微细磨削加工理论与技术 | 第15-17页 |
| 1.2.2 硬脆材料化学机械加工技术 | 第17-20页 |
| 1.2.3 化学刻蚀研究 | 第20-21页 |
| 1.2.4 化学改性理化研究 | 第21-22页 |
| 1.2.5 磨削液性能优化研究 | 第22-23页 |
| 1.3 课题来源和主要研究内容 | 第23-24页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第23页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 化学改性液的改性机理 | 第24-39页 |
| 2.1 单晶硅材料性能 | 第24-25页 |
| 2.2 化学改性原理 | 第25-29页 |
| 2.2.1 化学改性液成分选择 | 第25-26页 |
| 2.2.2 原子间作用能 | 第26-28页 |
| 2.2.3 氧化改性化学反应 | 第28-29页 |
| 2.3 化学改性实验设计 | 第29-33页 |
| 2.3.1 实验的化学试剂及仪器设备 | 第30-31页 |
| 2.3.2 实验设计 | 第31-32页 |
| 2.3.3 化学改性液配制 | 第32-33页 |
| 2.4 理化性能测试方法 | 第33-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 单晶硅化学改性液化学性能研究 | 第39-50页 |
| 3.1 单因素改性实验 | 第39-44页 |
| 3.1.1 碱浓度对改性效果的影响 | 第39-40页 |
| 3.1.2 pH对改性效果的影响 | 第40-41页 |
| 3.1.3 温度对改性效果的影响 | 第41页 |
| 3.1.4 溶液成分投加量对改性效果的影响 | 第41-44页 |
| 3.2 基于正交优化的多因素改性实验 | 第44-46页 |
| 3.3 化学改性物质成分检测 | 第46-47页 |
| 3.4 摩擦磨损实验 | 第47-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 单晶硅化学改性层力学性能研究 | 第50-61页 |
| 4.1 纳米压痕测试 | 第50-56页 |
| 4.1.1 实验设备及实验条件 | 第50-51页 |
| 4.1.2 实验结果分析 | 第51-56页 |
| 4.2 划痕测试 | 第56-60页 |
| 4.2.1 实验设备及实验条件 | 第56-57页 |
| 4.2.2 实验结果分析 | 第57-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论与展望 | 第61-62页 |
| 结论 | 第61页 |
| 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的专利文献目录 | 第71页 |
