| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 超精密加工技术发展现状 | 第11-13页 |
| 1.3 分子动力学研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 精密设备基础隔振技术研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 传统方法存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.6 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 基于分子动力学的液压轴承油膜刚度分析 | 第19-43页 |
| 2.1 分子动力学模拟的基本原理 | 第19-25页 |
| 2.1.1 力场 | 第19-21页 |
| 2.1.2 系综 | 第21-22页 |
| 2.1.3 积分方法 | 第22-23页 |
| 2.1.4 控温方法 | 第23-24页 |
| 2.1.5 周期性边界 | 第24页 |
| 2.1.6 宏观物理量的统计 | 第24-25页 |
| 2.2 修正雷诺方程 | 第25-28页 |
| 2.2.1 微元体平衡 | 第26-27页 |
| 2.2.2 质量流量 | 第27页 |
| 2.2.3 流量连续条件 | 第27-28页 |
| 2.2.4 滑移边界条件 | 第28页 |
| 2.3 液压支承主轴分子动力学建模 | 第28-36页 |
| 2.3.1 液压支承主轴物理模型 | 第28-29页 |
| 2.3.2 相似理论 | 第29-31页 |
| 2.3.3 液压支承主轴分子动力学模型 | 第31-36页 |
| 2.4 液压支承油膜刚度分析 | 第36-41页 |
| 2.4.1 润滑膜膜厚对轴承刚度的影响 | 第36-37页 |
| 2.4.2 主轴转速对轴承刚度的影响 | 第37-38页 |
| 2.4.3 进油压强对轴承刚度的影响 | 第38-40页 |
| 2.4.4 小孔直径对轴承刚度的影响 | 第40-41页 |
| 2.5 正交试验分析 | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 3 超精密加工机床的模态试验及有限元建模 | 第43-56页 |
| 3.1 模态分析理论 | 第43页 |
| 3.2 试验模态分析 | 第43-51页 |
| 3.2.1 试验模态分析理论基础 | 第43-46页 |
| 3.2.2 试验模态分析方法及实施 | 第46-51页 |
| 3.3 有限元建模及模态分析 | 第51-54页 |
| 3.3.1 有限元模型的建立 | 第51-52页 |
| 3.3.2 模态分析 | 第52-54页 |
| 3.3.3 模态分析结果对比 | 第54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 环境微振动及主轴运动共同作用下超精密加工机床的动态响应分析 | 第56-66页 |
| 4.1 环境微振动特性 | 第56-57页 |
| 4.2 振动信号的生成 | 第57-61页 |
| 4.2.1 扫描频率信号 | 第57-58页 |
| 4.2.2 拍波信号 | 第58-59页 |
| 4.2.3 白噪声随机信号 | 第59页 |
| 4.2.4 人工模拟地震波信号 | 第59-61页 |
| 4.3 环境微振动对不同工作状态下机床主轴运动的影响 | 第61-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 超精密加工机床的隔振设计及参数分析 | 第66-81页 |
| 5.1 隔振设计 | 第66-69页 |
| 5.1.1 隔振体系的选择 | 第66-67页 |
| 5.1.2 双层隔振体系原理 | 第67-68页 |
| 5.1.3 隔振系统设计 | 第68-69页 |
| 5.2 隔振系统在不同试验下的动态响应分析 | 第69-73页 |
| 5.3 参数改变对隔振系统的影响 | 第73-80页 |
| 5.3.1 隔振弹簧刚度对隔振效果的影响 | 第73-76页 |
| 5.3.2 隔振器阻尼比对隔振效果的影响 | 第76-79页 |
| 5.3.3 质量比对隔振效果的影响 | 第79-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 结论与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 结论 | 第81-82页 |
| 6.2 展望 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 附录 | 第89页 |