| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 忆阻器性能的简介 | 第11页 |
| 1.3 STO用于阻变存储器的优点 | 第11-12页 |
| 1.4 STO材料研究现状 | 第12-14页 |
| 1.5 选题思路及研究内容 | 第14-16页 |
| 参考文献 | 第16-19页 |
| 第2章 阻变存储器件的制备与电学性质的测试 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 阻变存储单元的制备 | 第19-20页 |
| 2.3 脉冲激光沉积技术 | 第20页 |
| 2.4 小型溅射系统 | 第20-21页 |
| 2.5 电学测试仪器 | 第21-23页 |
| 2.5.1 Keithley2400简介 | 第21页 |
| 2.5.2 Aglient4294A简介 | 第21-22页 |
| 2.5.3 Keithley4200简介 | 第22-23页 |
| 2.6 Hms3000霍尔测试系统 | 第23-24页 |
| 2.7 本章小结 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第3章 不同浓度Pt/NbSTO/In器件制备与电学性能对比 | 第28-46页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 NbSTO材料的表征 | 第28-33页 |
| 3.2.1 XRD图谱分析 | 第28-29页 |
| 3.2.2 拉曼光谱表征 | 第29-30页 |
| 3.2.3 霍尔效应结果 | 第30页 |
| 3.2.4 EPR测试结果 | 第30-32页 |
| 3.2.5 XPS测试结果 | 第32页 |
| 3.2.6 不同浓度Nb掺杂STO单晶EPR和Raman信号对比 | 第32-33页 |
| 3.3 阻变装置的制备 | 第33-34页 |
| 3.4 0.7wt%NbSTO电学性能测试 | 第34-36页 |
| 3.4.1 0.7wt%NbSTO阻变现象测试 | 第34-35页 |
| 3.4.2 0.7wt%NbSTO器件R-V现象测试 | 第35-36页 |
| 3.5 0.05wt%NbSTO电学性能测试 | 第36-39页 |
| 3.5.1 0.05wt%NbSTO阻变现象测试 | 第36-38页 |
| 3.5.2 0.05wt%NbSTO器件R-V现象测试 | 第38-39页 |
| 3.6 两种不同浓度器件测试结果对比及分析 | 第39-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-46页 |
| 第4章 Pt/FeSTO/NbSTO器件的制备及电学测试 | 第46-58页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 Pt/FeSTO/NbSTO器件的制备及表征 | 第46-48页 |
| 4.2.1 Pt/FeSTO/NbSTO器件的制备 | 第46-47页 |
| 4.2.2 FeSTO薄膜的形貌表征 | 第47-48页 |
| 4.3 Pt/FeSTO/NbSTO器件电学性能的测试 | 第48-55页 |
| 4.3.1 Pt/FeSTO/0.7wt%NbSTO器件阻变性能测试 | 第48-50页 |
| 4.3.2 Pt/FeSTO/0.7wt%NbSTO器件R-V性能测试 | 第50-52页 |
| 4.3.3 Pt/FeSTO/0.05wt%NbSTO器件阻变性能测试 | 第52-54页 |
| 4.3.4 Pt/FeSTO/0.05wt%NbSTO器件R-V性能测试 | 第54-55页 |
| 4.4 两种FeSTO/NbSTO器件的C-V对比 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 第5章 La掺杂STO与Nd掺杂STO材料器件制备和电学性能测试 | 第58-72页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 Pt/LaSTO/In制备及电学性能测试 | 第58-65页 |
| 5.2.1 LaSTO材料的表征 | 第58-59页 |
| 5.2.2 Pt/LaSTO/In器件的制备 | 第59页 |
| 5.2.3 Pt/LaSTO/In器件的电学测试 | 第59-63页 |
| 5.2.4 阻变现象分析 | 第63-64页 |
| 5.2.5 光照对Pt/LaSTO/In的影响 | 第64-65页 |
| 5.3 Pt/NdSTO/In制备及电学性能测试 | 第65-70页 |
| 5.3.1 NdSTO材料的表征 | 第65-66页 |
| 5.3.2 Pt/NdSTO/In制备 | 第66页 |
| 5.3.3 Pt/NdSTO/In器件的电学测试 | 第66-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-72页 |
| 第6章 结论与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 结论 | 第72-73页 |
| 6.2 展望 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第76-77页 |
