| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.2.1 多相机系统 | 第13-14页 |
| 1.2.2 单相机系统 | 第14-19页 |
| 1.2.3 空间同步移相研究现状小结 | 第19页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第19-21页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.3.2 本文主要内容 | 第19-21页 |
| 2 点光源异位空间分光同步移相原理 | 第21-26页 |
| 2.1 点光源横向偏移移相原理 | 第21-22页 |
| 2.2 基于点光源阵列空间分光同步移相原理 | 第22-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 空间分光斐索动态干涉仪关键技术研究 | 第26-33页 |
| 3.1 空间分光斐索动态干涉仪光源系统研究 | 第26-31页 |
| 3.1.1 空间分光斐索动态干涉仪光源系统光栅分光方案 | 第27-28页 |
| 3.1.2 空间分光斐索动态干涉仪光源系统光纤分光方案 | 第28-31页 |
| 3.1.3 空间分光斐索动态干涉仪光源系统方案小结 | 第31页 |
| 3.2 空间分光斐索动态干涉仪同步成像方法研究 | 第31-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 空间分光斐索动态干涉仪实验研究 | 第33-40页 |
| 4.1 空间分光斐索动态干涉仪测量平面实验 | 第33-35页 |
| 4.1.1 平面空腔精度测试 | 第34页 |
| 4.1.2 平面重复性测试 | 第34-35页 |
| 4.2 空间分光斐索动态干涉仪测量台阶板实验 | 第35-36页 |
| 4.3 空间分光斐索动态干涉仪测量球面实验 | 第36-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 5 空间分光斐索动态干涉仪测量平行平晶光学均匀性的研究 | 第40-49页 |
| 5.1 测量平行平晶光学均匀性原理 | 第40-41页 |
| 5.2 测量方法仿真 | 第41-43页 |
| 5.3 平行平晶光学均匀性测量实验 | 第43-44页 |
| 5.4 平行平晶光学均匀性测量方法误差分析 | 第44-47页 |
| 5.4.1 测量步骤之间波像差错位引入的误差 | 第45-46页 |
| 5.4.2 多次测量平均方法抑制平行平晶光学均匀性波像差测量误差 | 第46-47页 |
| 5.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 6 空间分光斐索动态干涉仪误差讨论 | 第49-65页 |
| 6.1 多次测量平均方法抑制动态斐索干涉仪测量误差 | 第49-52页 |
| 6.1.1 多次测量平均方法抑制动态斐索干涉仪测量误差实验 | 第49-50页 |
| 6.1.2 平均次数对测量结果的影响 | 第50-51页 |
| 6.1.3 多次测量平均方法下环境振动的应用 | 第51-52页 |
| 6.2 干涉仪系统出射波面包含球差对测量结果的影响 | 第52-62页 |
| 6.2.1 干涉仪系统出射波面包含球差导致的干涉图条纹旋转 | 第52-53页 |
| 6.2.2 标准球面参考镜透射波像差测量 | 第53-56页 |
| 6.2.3 数值仿真 | 第56-58页 |
| 6.2.4 系统关键参数对测量误差的影响及误差抑制 | 第58-62页 |
| 6.3 干涉图位置匹配误差分析 | 第62-63页 |
| 6.4 点光源光强不一致误差 | 第63-64页 |
| 6.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 7 总结与展望 | 第65-67页 |
| 7.1 总结 | 第65页 |
| 7.2 展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72页 |
