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基于化合物半导体的雪崩光电二极管的研究

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-21页
    1.1 光电探测器的研究进展第8-12页
        1.1.1 红外探测器的研究进展第8-10页
        1.1.2 紫外探测器的研究进展第10-12页
    1.2 半导体光电二极管第12-16页
        1.2.1 PIN型光电二极管第12-13页
        1.2.2 雪崩光电二极管(APD)第13-14页
        1.2.3 雪崩光电二极管的结构第14-16页
    1.3 仿真模型分析第16-19页
        1.3.1 带带隧穿(Band to band tunnel)模型第17页
        1.3.2 陷阱辅助隧穿(Trap-Assisted Tunnel)模型第17-18页
        1.3.3 碰撞离化(Impact Ionization)模型第18-19页
        1.3.4 光生载流子(Optical Generation)模型第19页
    1.4 本文的研究内容和安排第19-21页
第二章 基于InGaAs/InAlAs材料APD的研究第21-33页
    2.1 引言第21-22页
    2.2 器件结构第22页
    2.3 模型和参数的选取第22-25页
        2.3.1 模型分析第22-24页
        2.3.2 仿真参数第24-25页
    2.4 仿真及优化第25-32页
        2.4.1 拟合结果第25-26页
        2.4.2 倍增层的仿真及优化第26-30页
        2.4.3 电荷层的仿真及优化第30-32页
    2.5 本章小结第32-33页
第三章 基于GaN材料APD的研究第33-40页
    3.1 GaN材料概述第33页
    3.2 器件结构与参数选取第33-34页
    3.3 仿真及优化第34-39页
    3.4 本章小结第39-40页
第四章 基于AlGaN材料APD的研究第40-63页
    4.1 基本原理第40-43页
        4.1.1 AlGaN材料第40页
        4.1.2 极化效应第40-43页
    4.2 SAM结构AlGaN APD第43-50页
        4.2.1 器件结构第43页
        4.2.2 模型和参数的选取第43-44页
        4.2.3 仿真及优化第44-50页
    4.3 改进型SAM结构AlGaN APD第50-62页
        4.3.1 器件结构第50-51页
        4.3.2 模型和参数的选取第51页
        4.3.3 仿真及优化第51-62页
    4.4 本章小结第62-63页
第五章 总结及展望第63-65页
    5.1 成果总结第63-64页
    5.2 未来工作第64-65页
参考文献第65-68页
攻读硕士学位期间发表的论文第68-69页
致谢第69页

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