气浮传输系统中玻璃基板变形研究
| 致谢 | 第6-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 课题来源、背景与意义 | 第15-17页 |
| 1.2 玻璃基板发展、检测概述 | 第17-20页 |
| 1.3 本文研究问题简介 | 第20-22页 |
| 第二章 气浮支承下玻璃薄板变形的理论基础 | 第22-32页 |
| 2.1 薄板弯曲变形理论 | 第22-26页 |
| 2.1.1 薄板变形的基本概念 | 第22页 |
| 2.1.2 薄板小挠度弯曲变形的计算假设 | 第22-23页 |
| 2.1.3 薄板弯曲变形的几何方程 | 第23-24页 |
| 2.1.4 薄板变形的物理方程 | 第24页 |
| 2.1.5 薄板变形的平衡方程 | 第24-25页 |
| 2.1.6 薄板弯曲变形微分方程 | 第25页 |
| 2.1.7 边界条件 | 第25-26页 |
| 2.2 气浮理论 | 第26-29页 |
| 2.2.1 单个节流孔单元数学模型的建立 | 第26-28页 |
| 2.2.2 气体通过毛细管的流动 | 第28页 |
| 2.2.3 正负压节流单元模型的建立 | 第28-29页 |
| 2.3 气浮支承下玻璃薄板变形理论 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 玻璃基板单元的仿真与计算 | 第32-48页 |
| 3.1 Fluent软件简介 | 第32-38页 |
| 3.1.1 前处理器Gambit | 第32-35页 |
| 3.1.2 Fluent求解器 | 第35-37页 |
| 3.1.3 Tecplot后处理器 | 第37-38页 |
| 3.2 毛细管间距模型的建立 | 第38-43页 |
| 3.2.1 模型简化 | 第38-39页 |
| 3.2.2 数值仿真 | 第39-43页 |
| 3.3 毛细管排布间距的优化 | 第43-46页 |
| 3.3.1 玻璃基板变形分析 | 第43-45页 |
| 3.3.2 气膜静特性分析 | 第45-46页 |
| 3.4 整个液晶玻璃挠度的分析计算 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 供气参数和结构参数对玻璃基板变形的影响 | 第48-76页 |
| 4.1 workbench流固耦合仿真流程 | 第48-54页 |
| 4.2 建立模型 | 第54-55页 |
| 4.3 负压的影响 | 第55-60页 |
| 4.3.1 对玻璃基板变形的影响 | 第55-57页 |
| 4.3.2 对气膜面压力分布的影响 | 第57-59页 |
| 4.3.3 对质量流量的影响 | 第59-60页 |
| 4.4 正压的影响 | 第60-67页 |
| 4.4.1 对玻璃基板变形的影响 | 第60-61页 |
| 4.4.2 对气膜面压力分布的影响 | 第61-63页 |
| 4.4.3 对质量流量的影响 | 第63-64页 |
| 4.4.4 对供气模式的优化 | 第64-67页 |
| 4.4.4.1 对玻璃基板变形的影响 | 第64-65页 |
| 4.4.4.2 对气膜面压力的影响 | 第65-67页 |
| 4.4.4.3 对质量流量的影响 | 第67页 |
| 4.5 毛细管长度的影响 | 第67-71页 |
| 4.5.1 对玻璃基板变形的影响 | 第68-69页 |
| 4.5.2 对气膜面压力的影响 | 第69-70页 |
| 4.5.3 对质量流量的影响 | 第70-71页 |
| 4.6 气腔长度的影响 | 第71-75页 |
| 4.6.1 对玻璃基板变形的影响 | 第71-72页 |
| 4.6.2 对气膜面压力的影响 | 第72-74页 |
| 4.6.3 对质量流量的影响 | 第74-75页 |
| 4.7 本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 气浮平台结构优化设计与实验 | 第76-80页 |
| 5.1 气浮平台结构优化设计 | 第76-77页 |
| 5.2 液晶显示屏自动检测仪器气浮平台参数检测 | 第77-79页 |
| 5.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 第六章 结论与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 结论 | 第80页 |
| 6.2 展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第86-87页 |
