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Cu2O/ZnO/ITO异质结薄膜制备及光电性能研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-18页
    1.1 课题研究背景及意义第10页
    1.2 Cu_2O的基本性质第10-12页
    1.3 国内外在该方向的研究现状及分析第12-16页
        1.3.1 国内研究现状第12-14页
        1.3.2 国外研究现状第14-16页
    1.4 国内外文献综述的简析第16-17页
    1.5 本论文研究目的和主要研究内容第17-18页
第2章 薄膜的制备技术和表征方法第18-27页
    2.1 实验方法与实验设备第18-20页
        2.1.1 磁控溅射装置第18-20页
        2.1.2 实验原料第20页
    2.2 薄膜的性能表征第20-26页
        2.2.1 薄膜结构特性表征第20-23页
        2.2.2 薄膜的形貌表征第23-24页
        2.2.3 薄膜的电学性能表征第24-25页
        2.2.4 薄膜的光学性能表征第25-26页
    2.3 器件的光电性能表征第26-27页
第3章 Cu_2O薄膜的生长特性研究第27-53页
    3.1 射频溅射生长CuxO薄膜第27-33页
    3.2 直流溅射制备Cu_2O薄膜第33-50页
        3.2.1 氧氩比对Cu_2O薄膜的影响第33-41页
        3.2.2 溅射压强对Cu_2O薄膜的影响第41-45页
        3.2.3 溅射功率对Cu_2O薄膜的影响第45-50页
    3.3 本章小结第50-53页
第4章 Cu_2O/ZnO/ITO-Glass光伏器件的制备及性能研究第53-67页
    4.1 Cu_2O/ZnO/ITO-Glass多层异质结薄膜的制备与表征分析第53-55页
    4.2 异质结整流特性分析第55-63页
    4.3 器件光电流响应特性分析第63-65页
    4.4 本章小结第65-67页
第5章 柔性Cu_2O/ZnO/ITO-PET光伏器件制备及性能研究第67-80页
    5.1 Cu_2O/ZnO/ITO-PET多层异质结薄膜生长及光电特性第67-72页
        5.1.1 薄膜结构与光学特性分析第67-69页
        5.1.2 器件I-V特性分析第69-72页
    5.2 Cu_2O/ZnO/ITO/PET多层异质结薄膜生长第72-78页
        5.2.1 ITO/PET薄膜结构与光电特性分析第72-76页
        5.2.2 Cu_2O/ZnO/ITO/PET薄膜结构与光学性能分析第76-78页
    5.3 本章小结第78-80页
结论第80-81页
参考文献第81-87页
致谢第87页

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