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阵列式碳纳米管膜的CVD法制备工艺及应用研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第1章 绪论第9-18页
   ·碳纳米管概述第9-10页
   ·碳纳米管的性能第10-13页
     ·力学性能第10-11页
     ·电学性能第11-12页
     ·场发射性能第12页
     ·储氢性能第12-13页
     ·微波吸收性能第13页
   ·阵列式碳纳米管的制备方法第13-14页
     ·电弧法和过滤法第13页
     ·溶胶-凝胶法和激光腐蚀法第13-14页
     ·化学气相沉积法(CVD)第14页
   ·CVD法制备碳纳米管生长机理第14-16页
     ·顶部生长模型第15页
     ·底部生长模型第15页
     ·碳纳米管的生长过程第15-16页
   ·本研究的内容和意义第16-18页
     ·碳纳米管制备及应用研究领域存在的问题和不足第16页
     ·本课题的研究意义第16-17页
     ·本课题的研究内容第17-18页
第2章 实验设备和实验方法第18-23页
   ·实验设备和材料第18-20页
     ·化学气相沉积法(CVD法)制备碳纳米管膜的设备第18页
     ·碳纳米管膜转移至铝基底的设备第18-19页
     ·场发射测试设备第19页
     ·阵列式碳纳米管膜形貌检测设备第19页
     ·实验材料第19-20页
   ·实验方法第20-23页
     ·碳纳米管膜的制备方法第20-21页
     ·将碳纳米管膜转移至铝基底的方法第21-22页
     ·盐酸处理碳纳米管膜的方法第22页
     ·SEM表征碳纳米管的方法第22页
     ·碳纳米管膜的场发射特性测试方法第22-23页
第3章 阵列式碳纳米管膜的制备与工艺参数分析第23-37页
   ·实验参数设置第23-25页
     ·温度变量组设置第23页
     ·催化剂加入量组设置第23-24页
     ·氩气流量变量组设置第24页
     ·反应时间变量组设置第24-25页
   ·实验结果与分析第25-35页
     ·两种不同注入方法的结果第25-26页
     ·沉积温度变化对碳纳米管膜质量的影响第26-30页
     ·催化剂的量对碳纳米管质量的影响第30-32页
     ·氩气流量对碳纳米管质量的影响第32-34页
     ·反应时间对碳纳米管质量的影响第34-35页
   ·本章小结第35-37页
第4章 阵列式碳纳米管膜场发射特性测试与结果分析第37-50页
   ·碳纳米管的场发射机理第37-41页
     ·固体的电子发射机理第37页
     ·金属的场发射理论第37-40页
     ·碳纳米管的场发射机理第40-41页
   ·碳纳米管场发射性能评价指标第41-42页
   ·阵列式碳纳米管膜的场发射特性测试与结果分析第42-49页
     ·未经表面处理的碳纳米管膜场发射性能测试第42-44页
     ·用盐酸进行表面处理后的碳纳米管膜的场发射性能测试第44-46页
     ·碳纳米管膜场发射特性比较及其结果分析第46-49页
   ·本章小结第49-50页
第5章 阵列式碳纳米管膜的转基底工艺及场发射性能研究第50-61页
   ·石英基底转移至铝箔或铜箔及其场发射性能测试第50-55页
     ·石英基底转移至未处理的铝箔或铜箔第50-52页
     ·石英基底转移至预处理后的铜箔第52-53页
     ·转移至预处理后铜箔基底的碳纳米管膜的场发射性能测试第53-55页
   ·阵列式碳纳米管膜转移至锡基底及其场发射性能测试第55-57页
   ·使用锡焊技术将铝箔基底上的CNT膜转移至铜基底工艺及其场发射性能测试第57-59页
   ·本章小结第59-61页
第6章 结论第61-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-67页
攻读学位期间的研究成果第67页

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