| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 耐高温绝缘材料及绝缘层的研究 | 第12-17页 |
| 1.2.1 耐高温绝缘材料 | 第12-14页 |
| 1.2.2 绝缘层国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3 本文的选题依据 | 第17-18页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 NiCrAlY过渡层的制备及性能研究 | 第19-31页 |
| 2.1 薄膜的制备及表征方法 | 第19-22页 |
| 2.1.1 薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| 2.1.2 薄膜的表征方法 | 第20-22页 |
| 2.2 NiCrAlY合金过渡层及Al_2O_3热生长层的制备 | 第22-30页 |
| 2.2.1 溅射工艺对NiCrAlY薄膜的影响 | 第23-24页 |
| 2.2.2 NiCrAlY薄膜的析铝氧化 | 第24-26页 |
| 2.2.3 Al_2O_3热生长层的高温绝缘性能测试 | 第26-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 复合绝缘层的制备及性能研究 | 第31-46页 |
| 3.1 溶胶凝胶法简介 | 第31-32页 |
| 3.2 浸滞提拉法制备Al_2O_3薄膜的工艺研究 | 第32-35页 |
| 3.3 Al_2O_3复合绝缘层的制备及性能研究 | 第35-42页 |
| 3.3.1 复合绝缘层高温绝缘性能测试 | 第38-40页 |
| 3.3.2 复合绝缘层附着力的测试 | 第40-41页 |
| 3.3.3 复合绝缘层的抗热疲劳性能测试 | 第41-42页 |
| 3.3.4 复合绝缘层的抗热冲击性能测试 | 第42页 |
| 3.4 三明治结构复合绝缘层的制备及性能研究 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 复合绝缘层的S型薄膜热电偶标定验证 | 第46-59页 |
| 4.1 薄膜传感器 | 第46页 |
| 4.2 薄膜热电偶的标定 | 第46-53页 |
| 4.2.1 热电效应 | 第46-49页 |
| 4.2.2 热电偶基本定律 | 第49-50页 |
| 4.2.3 薄膜热电偶的标定方法 | 第50-53页 |
| 4.3 S型(Pt/Pt-10%Rh)薄膜热电偶的标定验证 | 第53-58页 |
| 4.3.1 S型薄膜热电偶的制备 | 第53-54页 |
| 4.3.2 S型热电偶的标定 | 第54-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第59-62页 |
| 5.1 全文总结 | 第59-60页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第67页 |
