| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 宽带光开关器件的研究与发展 | 第12-13页 |
| 1.3 本文的主要工作和创新 | 第13-14页 |
| 1.4 本文的结构安排 | 第14-15页 |
| 第二章 铌酸锂光开关基本原理 | 第15-26页 |
| 2.1 铌酸锂晶体特性 | 第15-16页 |
| 2.2 铌酸锂晶体的电光效应 | 第16-18页 |
| 2.3 传统与锥形定向耦合器MZI光开关工作原理及对比 | 第18-22页 |
| 2.4 光开关重要特性参数 | 第22-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 器件结构仿真设计 | 第26-40页 |
| 3.1 铌酸锂单模波导设计 | 第26-30页 |
| 3.2 器件参数仿真设计 | 第30-34页 |
| 3.2.1 耦合器仿真设计 | 第30-33页 |
| 3.2.2 调谐电极设计 | 第33-34页 |
| 3.3 器件工作特性优化与模拟 | 第34-38页 |
| 3.4 器件参数汇总 | 第38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 器件的制作、测试和结果分析 | 第40-59页 |
| 4.1 掩模板设计与制作工艺 | 第40-47页 |
| 4.2 实验难点及解决方案 | 第47-49页 |
| 4.3 器件的测试及结果分析 | 第49-57页 |
| 4.3.1 近场光斑和开关电压 | 第50-52页 |
| 4.3.2 开关时间 | 第52-53页 |
| 4.3.3 传输光谱和损耗 | 第53-55页 |
| 4.3.4 消光比和串扰 | 第55-57页 |
| 4.4 测试结果总结 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 5.1 总结 | 第59页 |
| 5.2 工作展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 硕士研究生期间取得的研究成果 | 第64页 |