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锗纳米线的合成、表征及其非易失性存储研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-27页
    1.1 一维纳米材料的概述第11-18页
        1.1.1 一维纳米材料的介绍第11页
        1.1.2 一维纳米材料的制备方法第11-15页
        1.1.3 一维纳米材料的特性和应用第15-18页
    1.2 一维锗纳米线的研究现状第18-21页
        1.2.1 一维锗纳米线合成与表征的研究现状第18-19页
        1.2.2 一维锗纳米线应用的研究进展第19-21页
    1.3 一维纳米材料场效应晶体管和非易失性存储器第21-25页
        1.3.1 场效应晶体管和非易失性存储器的介绍第21-23页
        1.3.2 一维纳米线场效应晶体管和存储器的研究介绍第23-25页
    1.4 本论文的研究意义和主要内容第25-27页
        1.4.1 研究意义第25-26页
        1.4.2 主要内容第26-27页
第二章 实验手段第27-36页
    2.1 实验手段介绍第27-32页
        2.1.1 锗纳米线合成与表征手段第27-30页
        2.1.2 锗纳米线非易失性存储器的制备手段第30-31页
        2.1.3 锗纳米线非易失性存储器的测试手段第31-32页
    2.2 锗纳米线器件的制备流程第32-35页
        2.2.1 锗纳米线的合成和表面处理第32-33页
        2.2.2 硅基片的清洗和锗线转移第33页
        2.2.3 光刻工艺第33-34页
        2.2.4 器件的后处理第34-35页
    2.3 小结第35-36页
第三章 锗纳米线的合成与表征研究第36-47页
    3.1 前言第36-37页
    3.2 锗纳米线的制备第37-39页
        3.2.1 锗纳米线的合成第37-38页
        3.2.2 锗纳米线生长机制的解释第38-39页
    3.3 锗纳米线的表征第39-45页
        3.3.1 锗纳米线的表面形貌表征第39-42页
        3.3.2 锗纳米线的晶体结构和化学成分表征第42-44页
        3.3.3 锗纳米线的表面稳定性的研究第44-45页
    3.4 小结第45-47页
第四章 基于本征锗纳米线的非易失性存储器研究第47-57页
    4.1 前言第47-48页
    4.2 器件的制备第48-49页
    4.3 本征锗纳米线非易失性存储器的电学性能研究第49-54页
        4.3.1 本征锗纳米线存储器的器件结构与工作原理第49-51页
        4.3.2 本征锗纳米线存储器的电学性能第51-54页
    4.4 本征锗纳米线形貌、结构与表面化学态对器件性能影响的研究第54-56页
        4.4.1 本征锗纳米线的形貌与结构对器件性能的影响第54-55页
        4.4.2 本征锗纳米线表面化学态对器件的影响第55-56页
    4.5 小结第56-57页
第五章 基于金属纳米颗粒-锗纳米线复合体的非易失性存储器研究第57-67页
    5.1 前言第57-58页
    5.2 锗纳米线表面附载金属颗粒第58-62页
        5.2.1 纳米线表面附载金纳米颗粒第58-59页
        5.2.2 纳米线表面附载银纳米颗粒第59-61页
        5.2.3 修饰后锗纳米线存储器的制备第61-62页
    5.3 金属附载后锗纳米线非易失性存储器的电学性能第62-66页
        5.3.1 附载金纳米颗粒后器件的电学性能第62-64页
        5.3.2 附载银纳米颗粒后器件的电学性能第64-66页
        5.3.3 两种器件电学性能的比较与分析第66页
    5.4 小结第66-67页
第六章 全文总结第67-69页
参考文献第69-80页
攻读学位期间的科研成果第80-81页
致谢第81-82页

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