夹点技术在多晶硅生产过程尾气回收装置中的应用研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 综述 | 第10-29页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 国内外多晶硅制备技术的发展 | 第10-13页 |
| 1.2.1 硅烷热分解法制备多晶硅 | 第11页 |
| 1.2.2 流化床法制备多晶硅 | 第11-12页 |
| 1.2.3 冶金法制备多晶硅 | 第12页 |
| 1.2.4 四氯化硅锌还原法制备多晶硅 | 第12-13页 |
| 1.3 改良西门子法生产多晶硅的发展状况 | 第13-17页 |
| 1.4 换热网络优化研究与发展 | 第17-19页 |
| 1.4.1 换热网络优化的基本原则 | 第17-18页 |
| 1.4.2 数学规划法 | 第18-19页 |
| 1.5 夹点技术 | 第19-28页 |
| 1.5.1 夹点的形成 | 第20-21页 |
| 1.5.2 夹点与夹点温差 | 第21-23页 |
| 1.5.3 问题表法确定夹点位置 | 第23-24页 |
| 1.5.4 夹点的意义 | 第24页 |
| 1.5.5 夹点设计准则 | 第24-25页 |
| 1.5.6 物流的匹配与分隔 | 第25-27页 |
| 1.5.7 国内外夹点技术的应用与发展 | 第27-28页 |
| 1.6 本文的研究的目的和主要内容 | 第28-29页 |
| 第2章 尾气干法回收流程模拟 | 第29-38页 |
| 2.1 ASPEN PLUS简介 | 第29-30页 |
| 2.1.1 化工过程模拟 | 第29-30页 |
| 2.1.2 Aspen Plus软件简介 | 第30页 |
| 2.2 多晶硅生产中尾气回收工艺流程 | 第30-33页 |
| 2.2.1 多晶硅生产中尾气回收工艺研究进展 | 第30-32页 |
| 2.2.2 多晶硅生产中尾气回收工艺流程 | 第32-33页 |
| 2.3 尾气干法回收系统模型建立的条件 | 第33-35页 |
| 2.3.1 建立模拟工艺图 | 第33页 |
| 2.3.2 物性方法的选择 | 第33-34页 |
| 2.3.3 设备模型的选择 | 第34-35页 |
| 2.4 ASPEN PLUS流程模拟 | 第35-37页 |
| 2.4.1 全流程模拟步骤 | 第35页 |
| 2.4.2 模拟结果与实际生产数据对比 | 第35-36页 |
| 2.4.3 结果分析 | 第36-37页 |
| 2.5 小结 | 第37-38页 |
| 第3章 尾气干法回收系统夹点分析 | 第38-44页 |
| 3.1 尾气干法回收装置用能分析 | 第38-40页 |
| 3.1.1 尾气回收装置用能元素 | 第38页 |
| 3.1.2 物流信息 | 第38-40页 |
| 3.2 最优夹点温差的确定 | 第40-42页 |
| 3.3 问题表法计算系统夹点 | 第42-43页 |
| 3.4 原始换热网络与采用夹点设计之间的比较 | 第43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 尾气干法回收换热网络系统改造 | 第44-53页 |
| 4.1 改造前工艺流程 | 第44-46页 |
| 4.1.1 改造前工艺流程图 | 第44-45页 |
| 4.1.2 改造前换热网络网格图 | 第45-46页 |
| 4.2 换热网络改造 | 第46-50页 |
| 4.2.1 换热网络系统中不合理匹配 | 第46页 |
| 4.2.2 换热网络系统中存在问题分析 | 第46-47页 |
| 4.2.3 利用夹点设计进行系统改造 | 第47-50页 |
| 4.3 改造后工艺流程 | 第50-52页 |
| 4.3.1 改造后换热网络网格图 | 第50页 |
| 4.3.2 改造后工艺流程图 | 第50-52页 |
| 4.4 小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
