| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 磁电复合薄膜 | 第9-11页 |
| 1.2 压电陶瓷概述 | 第11-17页 |
| 1.3 压电陶瓷的制备工艺 | 第17-20页 |
| 1.4 研究内容及技术路线 | 第20-23页 |
| 2 压电陶瓷制备工艺及性能表征方法 | 第23-28页 |
| 2.1 压电陶瓷制备 | 第23-25页 |
| 2.2 压电陶瓷性能测试 | 第25-28页 |
| 3 压电陶瓷靶材的配方及性能研究 | 第28-45页 |
| 3.1 BMT-PT体系压电陶瓷 | 第28-38页 |
| 3.2 PZT体系压电陶瓷 | 第38-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 4 压电陶瓷靶材的制备 | 第45-53页 |
| 4.1 靶材制备工艺 | 第45-50页 |
| 4.2 陶瓷靶材的测试分析 | 第50-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 总结 | 第53-54页 |
| 5.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士期间取得的科研成果 | 第61页 |