| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 前言 | 第12页 |
| 1.2 铁电材料 | 第12-13页 |
| 1.2.1 铁电材料定义 | 第12-13页 |
| 1.2.2 铁电薄膜材料 | 第13页 |
| 1.3 铁电薄膜材料的应用 | 第13-15页 |
| 1.3.1 铁电随机存储器 | 第13-14页 |
| 1.3.2 热释电红外探测器 | 第14-15页 |
| 1.3.3 声表面波器件 | 第15页 |
| 1.4 BiFeO_3铁电薄膜材料 | 第15-18页 |
| 1.4.1 晶体结构 | 第15-16页 |
| 1.4.2 国内外研究进展 | 第16-18页 |
| 1.5 自极化及其研究进展 | 第18-20页 |
| 1.6 本课题研究的意义及主要内容 | 第20-22页 |
| 1.6.1 本课题研究的意义 | 第20-21页 |
| 1.6.2 本课题研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第22-28页 |
| 2.1 试验原料及仪器设备 | 第22-23页 |
| 2.2 BiFeO_3薄膜的制备 | 第23-25页 |
| 2.2.1 薄膜制备方法 | 第23页 |
| 2.2.2 前驱体溶液的配制 | 第23-24页 |
| 2.2.3 BiFeO_3基薄膜的制备工艺流程 | 第24-25页 |
| 2.3 铁电薄膜的结构与性能的表征方法 | 第25-28页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪 | 第25页 |
| 2.3.2 铁电测试仪 | 第25-26页 |
| 2.3.3 原子力显微镜 | 第26-28页 |
| 第三章 自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的铁电性能研究 | 第28-44页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的自极化和老化行为 | 第28-29页 |
| 3.3 自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的结构 | 第29-30页 |
| 3.4 自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜铁电性能的表征 | 第30-42页 |
| 3.4.1 测试电压对自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜电滞回线的影响 | 第30-36页 |
| 3.4.2 延迟时间对自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜电滞回线缺口的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.3 测试电压顺序对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜铁电性能的影响 | 第38-41页 |
| 3.4.4 自极化Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的老化 | 第41-42页 |
| 3.5 小结 | 第42-44页 |
| 第四章 不同W~(6+)掺量Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的影响 | 第44-52页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 W~(6+)掺量对(top) Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜结构和铁电性能的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.1 W~(6+)掺量对(top)Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜结构的影响 | 第44-45页 |
| 4.2.2 W~(6+)掺量对(top) Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜铁电性能的影响 | 第45-46页 |
| 4.3 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3(bottom)薄膜结构和铁电性能的影响 | 第46-48页 |
| 4.3.1 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3(bottom)薄膜结构的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.2 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3(bottom)薄膜铁电性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.4 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3薄膜结构和铁电性能的影响 | 第48-50页 |
| 4.4.1 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3薄膜结构的影响 | 第48-49页 |
| 4.4.2 W~(6+)掺量对Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3/Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3/Bi_(1.1)Fe_(1-x)W_xO_3薄膜铁电性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.5 小结 | 第50-52页 |
| 第五章 Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的界面调控 | 第52-64页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 Bi_(1.1)Fe_(0.99)W_(0.01)O_3界面层位置对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3结构的影响 | 第52-53页 |
| 5.3 Bi_(1.1)Fe_(0.99)W_(0.01)O_3界面层位置对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电性能的影响 | 第53-58页 |
| 5.3.1 低电压下薄膜的铁电性 | 第53-56页 |
| 5.3.2 高电压下薄膜的铁电性 | 第56-58页 |
| 5.4 Bi_(1.1)Fe_(0.99)W_(0.01)O_3界面层位置对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3保持性能的影响 | 第58-61页 |
| 5.5 Bi_(1.1)Fe_(0.99)W_(0.01)O_3界面层位置对Bi_(1.1)Fe_(0.95)Mn_(0.05)O_3压电性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.6 小结 | 第62-64页 |
| 第六章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 主要研究结论 | 第64-65页 |
| 6.2 主要创新点 | 第65页 |
| 6.3 工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76页 |
