基于光散射的光学元件表面粗糙度检测方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第8-10页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 光学元件表面粗糙度检测方法 | 第12-19页 |
| 2.1 接触式检测方法 | 第12-14页 |
| 2.1.1 比较法 | 第12页 |
| 2.1.2 触针式轮廓仪 | 第12-13页 |
| 2.1.3 扫描探针显微技术 | 第13-14页 |
| 2.2 非接触式检测方法 | 第14-18页 |
| 2.2.1 光学触针法 | 第14-15页 |
| 2.2.2 光学干涉法 | 第15-16页 |
| 2.2.3 散斑法 | 第16页 |
| 2.2.4 光散射法 | 第16-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 粗糙面光散射近似解析方法及数值计算 | 第19-31页 |
| 3.1 粗糙面光散射近似解析方法 | 第19-21页 |
| 3.1.1 基尔霍夫近似 | 第19页 |
| 3.1.2 双尺度法 | 第19页 |
| 3.1.3 小斜率近似 | 第19-20页 |
| 3.1.4 微扰法 | 第20页 |
| 3.1.5 四种方法使用条件比较 | 第20-21页 |
| 3.2 光学元件表面形貌特征描述 | 第21页 |
| 3.2.1 高度分布函数和均方根粗糙度 | 第21页 |
| 3.2.2 自协方差函数和功率谱密度函数 | 第21页 |
| 3.3 基于电偶极子散射模型的微扰理论 | 第21-30页 |
| 3.3.1 光的电磁波性质 | 第22页 |
| 3.3.2 电偶极子在远场散射的电磁场 | 第22-26页 |
| 3.3.3 光学元件表面散射的ARS | 第26-28页 |
| 3.3.4 光学元件体散射的ARS | 第28-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 算法实现及实验仿真 | 第31-41页 |
| 4.1 算法实现 | 第31-35页 |
| 4.1.1 单独检测光学元件表面散射的方法 | 第31-33页 |
| 4.1.2 表面粗糙度数学模型 | 第33-35页 |
| 4.2 仿真分析 | 第35-37页 |
| 4.2.1 偏振方向α 和 β | 第35-36页 |
| 4.2.2 偏振方向间夹角 ? | 第36页 |
| 4.2.3 检偏器选偏角度 | 第36-37页 |
| 4.3 光学元件表面粗糙度检测 | 第37-40页 |
| 4.3.1 微分散射检测系统 | 第37-39页 |
| 4.3.2 实验结果 | 第39-40页 |
| 4.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 总结 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第45页 |
