| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 引言 | 第14页 |
| 1.2 ZnO的基本性质 | 第14-15页 |
| 1.3 光学特性 | 第15-16页 |
| 1.3.1 激子复合引起的发光 | 第15-16页 |
| 1.3.2 带间跃迁引起的发光 | 第16页 |
| 1.3.3 缺陷能级引起的发光 | 第16页 |
| 1.4 电学特性 | 第16-17页 |
| 1.5 溶胶凝胶法制备ZnO薄膜 | 第17-18页 |
| 1.6 影响ZnO薄膜光电特性的因素 | 第18-27页 |
| 1.6.1 溶胶的配制工艺 | 第19-20页 |
| 1.6.2 热处理 | 第20-22页 |
| 1.6.3 掺杂 | 第22-27页 |
| 1.6.4 其它方面 | 第27页 |
| 1.7 本文研究目的及意义 | 第27-30页 |
| 第2章 铜掺杂氧化锌薄膜的制备与表征 | 第30-74页 |
| 2.1 氧化锌薄膜的制备 | 第30-32页 |
| 2.1.1 实验所用的设备与器材 | 第30页 |
| 2.1.2 主要原料 | 第30-31页 |
| 2.1.3 实验流程 | 第31-32页 |
| 2.2 ZnO薄膜样品的表征手段 | 第32-35页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析 | 第32-33页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第33页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜 | 第33页 |
| 2.2.4 紫外可见光光度计 | 第33-34页 |
| 2.2.5 电化学工作站 | 第34-35页 |
| 2.2.6 膜厚轮廓仪 | 第35页 |
| 2.2.7 接触角仪 | 第35页 |
| 2.3 未掺杂ZnO薄膜样品的表征 | 第35-41页 |
| 2.3.1 结构分析 | 第35-36页 |
| 2.3.2 表面形貌分析 | 第36-39页 |
| 2.3.3 光学特性 | 第39-40页 |
| 2.3.4 电学特性 | 第40-41页 |
| 2.4 Cu-ZnO薄膜样品的表征 | 第41-53页 |
| 2.4.1 XRD 分析 | 第42-43页 |
| 2.4.2 表面形貌分析 | 第43-49页 |
| 2.4.3 光学特性 | 第49-51页 |
| 2.4.4 电学特性 | 第51-52页 |
| 2.4.5 接触角分析 | 第52-53页 |
| 2.5 不同退火温度对ZnO薄膜的影响 | 第53-62页 |
| 2.5.1 XRD 分析 | 第53-54页 |
| 2.5.2 表面形貌分析 | 第54-58页 |
| 2.5.3 光学特性 | 第58-59页 |
| 2.5.4 电学特性 | 第59-60页 |
| 2.5.5 透射电子显微镜表征 | 第60-62页 |
| 2.6 不同Cu掺杂源对Cu-ZnO薄膜的影响 | 第62-65页 |
| 2.6.1 XRD 分析 | 第62-63页 |
| 2.6.2 光学特性 | 第63-64页 |
| 2.6.3 电学特性 | 第64-65页 |
| 2.7 低浓度Cu掺杂ZnO薄膜 | 第65-72页 |
| 2.7.1 XRD 分析 | 第65-67页 |
| 2.7.2 表面形貌分析 | 第67-68页 |
| 2.7.3 光学特性 | 第68-69页 |
| 2.7.4 电学特性 | 第69-70页 |
| 2.7.5 透射电子显微镜分析 | 第70-72页 |
| 2.8 本章小结 | 第72-74页 |
| 第3章 锂掺杂氧化锌薄膜的制备与表征 | 第74-96页 |
| 3.1 锂掺杂氧化锌薄膜的制备 | 第74-75页 |
| 3.2 Li-ZnO薄膜样品的表征 | 第75-84页 |
| 3.2.1 XRD 分析 | 第75-76页 |
| 3.2.2 表面形貌分析 | 第76-80页 |
| 3.2.3 光学性质 | 第80-82页 |
| 3.2.4 电学特性 | 第82-83页 |
| 3.2.5 接触角分析 | 第83-84页 |
| 3.3 不同退火温度对Li-ZnO薄膜性能的影响 | 第84-93页 |
| 3.3.1 XRD 分析 | 第85-86页 |
| 3.3.2 表面形貌分析 | 第86-88页 |
| 3.3.3 光学性质分析 | 第88-89页 |
| 3.3.4 电学特性分析 | 第89-91页 |
| 3.3.5 不同旋涂层数对Li-ZnO薄膜电学特性影响 | 第91页 |
| 3.3.6 透射电子显微镜分析 | 第91-93页 |
| 3.4 不同基片上Li-ZnO薄膜的表面形貌 | 第93-94页 |
| 3.5 本章小结 | 第94-96页 |
| 第4章 银掺杂氧化锌薄膜的制备与表征 | 第96-110页 |
| 4.1 银掺杂氧化锌薄膜的制备 | 第96-97页 |
| 4.1.1 主要原料 | 第96页 |
| 4.1.2 试验流程 | 第96-97页 |
| 4.2 Ag-ZnO薄膜样品的表征 | 第97-105页 |
| 4.2.1 XRD 分析 | 第97-99页 |
| 4.2.2 表面形貌分析 | 第99-101页 |
| 4.2.3 光学性质 | 第101-103页 |
| 4.2.4 电学性质 | 第103页 |
| 4.2.5 透射电镜分析 | 第103-105页 |
| 4.3 膜厚对Ag-ZnO薄膜样品电学特性的影响 | 第105-109页 |
| 4.3.1 不同旋涂层数薄膜的厚度 | 第106-109页 |
| 4.4 本章小结 | 第109-110页 |
| 第5章 共掺杂ZnO薄膜的制备与表征 | 第110-144页 |
| 5.1 共掺杂氧化锌薄膜的制备 | 第110-113页 |
| 5.1.1 Li-Cu共掺杂锌溶胶的配制 | 第110-111页 |
| 5.1.2 Cu-Li共掺杂锌溶胶的制备 | 第111-112页 |
| 5.1.3 Ag-Li共掺杂锌溶胶的制备 | 第112页 |
| 5.1.4 Li-Ag共掺杂锌溶胶的制备 | 第112-113页 |
| 5.2 Li-Cu共掺杂ZnO薄膜表征 | 第113-120页 |
| 5.2.1 XRD 分析 | 第113-114页 |
| 5.2.2 表面形貌分析 | 第114-116页 |
| 5.2.3 光学特性 | 第116-118页 |
| 5.2.4 电学特性 | 第118-119页 |
| 5.2.5 透射电镜分析 | 第119-120页 |
| 5.3 Cu-Li共掺杂ZnO薄膜表征 | 第120-129页 |
| 5.3.1 XRD 分析 | 第120-122页 |
| 5.3.2 表面形貌分析 | 第122-124页 |
| 5.3.3 光学特性 | 第124-127页 |
| 5.3.4 电学特性 | 第127-128页 |
| 5.3.5 透射电子显微镜分析 | 第128-129页 |
| 5.4 Ag-Li共掺杂ZnO薄膜 | 第129-135页 |
| 5.4.1 XRD 分析 | 第129-131页 |
| 5.4.2 表面形貌分析 | 第131-132页 |
| 5.4.3 光学特性 | 第132-133页 |
| 5.4.4 电学特性 | 第133-134页 |
| 5.4.5 透射电子显微镜表征 | 第134-135页 |
| 5.5 Li-Ag共掺杂ZnO薄膜 | 第135-142页 |
| 5.5.1 XRD 分析 | 第135-137页 |
| 5.5.2 表面形貌分析 | 第137-139页 |
| 5.5.3 光学性质 | 第139-140页 |
| 5.5.4 电学特性 | 第140-141页 |
| 5.5.5 透射电子显微镜表征 | 第141-142页 |
| 5.6 本章小结 | 第142-144页 |
| 第6章 结论与展望 | 第144-146页 |
| 6.1 结论 | 第144页 |
| 6.2 展望 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-156页 |
| 致谢 | 第156-158页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第158页 |