硅基微环谐振器特性研究及其应用
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 集成光学的发展 | 第16-19页 |
| 1.2 硅基光子学研究现状及发展 | 第19-20页 |
| 1.3 微环谐振器的应用及发展现状 | 第20-22页 |
| 1.4 论文创新内容及章节安排 | 第22-24页 |
| 2 光波导理论分析及常用数值求解方法 | 第24-38页 |
| 2.1 波动方程 | 第24-27页 |
| 2.2 平板波导 | 第27-30页 |
| 2.3 条形波导 | 第30-31页 |
| 2.4 光波导的数值计算方法 | 第31-36页 |
| 2.5 边界条件 | 第36-38页 |
| 3 集成光学常用工艺及测试平台 | 第38-50页 |
| 3.1 薄膜制备 | 第38-41页 |
| 3.2 曝光 | 第41-45页 |
| 3.3 刻蚀 | 第45-48页 |
| 3.4 测试系统 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 微环谐振器 | 第50-66页 |
| 4.1 微环的基本原理 | 第50-52页 |
| 4.2 单个微环谐振器 | 第52-55页 |
| 4.3 微环的级联 | 第55-56页 |
| 4.4 悬挂式二氧化硅波导 | 第56-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 5 平顶型微环滤波器 | 第66-88页 |
| 5.1 平顶型滤波器研究现状及应用 | 第66页 |
| 5.2 平顶型滤波器的仿真与设计 | 第66-74页 |
| 5.3 基于弯曲耦合的平顶滤波器的设计 | 第74-81页 |
| 5.4 基于弯曲耦合的平顶滤波器的制作及测试 | 第81-86页 |
| 5.5 本章小结 | 第86-88页 |
| 6 微环谐振器阵列 | 第88-102页 |
| 6.1 集成光学中常见的波分复用器件 | 第89页 |
| 6.2 基于弯曲耦合的波分复用器件设计 | 第89-99页 |
| 6.3 微环阵列的制作与测试 | 第99-100页 |
| 6.4 本章小结 | 第100-102页 |
| 7 热不敏感微环谐振器 | 第102-110页 |
| 7.1 热不敏感器件实现方法及应用 | 第102-103页 |
| 7.2 热不敏感硅波导的设计 | 第103-106页 |
| 7.3 热不敏感微环谐振器制作及测试 | 第106-108页 |
| 7.4 本章小结 | 第108-110页 |
| 8 总结及展望 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-122页 |
| 术语表 | 第122-124页 |
| 作者简介 | 第124-126页 |
| 攻读博士学位期间主要研究成果 | 第126-127页 |
