| 摘要 | 第3-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-41页 |
| 1.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.2 课题的研究意义 | 第15-18页 |
| 1.3 国内外研究现状综述 | 第18-36页 |
| 1.3.1 CVD金刚石薄膜的制备及其耐磨损性能研究 | 第18-21页 |
| 1.3.2 微细切削加工技术 | 第21-24页 |
| 1.3.3 HFCVD法制备金刚石薄膜的温度场仿真研究 | 第24-25页 |
| 1.3.4 金刚石涂层刀具的制备及其应用研究 | 第25-33页 |
| 1.3.5 CVD金刚石涂层微细刀具的制备及其应用研究 | 第33-36页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第36-41页 |
| 第二章 CVD金刚石薄膜的制备及其耐磨损性能研究 | 第41-59页 |
| 2.1 引言 | 第41页 |
| 2.2 金刚石薄膜的沉积原理 | 第41-43页 |
| 2.3 HFCVD法制备金刚石薄膜的设备与流程 | 第43-45页 |
| 2.4 CVD金刚石薄膜的表征分析 | 第45-48页 |
| 2.4.1 表面形貌 | 第45-46页 |
| 2.4.2 表面粗糙度 | 第46页 |
| 2.4.3 薄膜晶粒取向 | 第46-47页 |
| 2.4.4 拉曼光谱分析 | 第47-48页 |
| 2.5 膜基结合强度研究 | 第48-49页 |
| 2.6 MCD和NCD薄膜耐磨损性能研究 | 第49-57页 |
| 2.6.1 实验样品准备 | 第49-51页 |
| 2.6.2 实验过程描述 | 第51页 |
| 2.6.3 实验结果分析 | 第51-57页 |
| 2.7 本章小结 | 第57-59页 |
| 第三章 CVD金刚石涂层微细刀具制备过程温度场仿真研究 | 第59-73页 |
| 3.1 引言 | 第59页 |
| 3.2 计算流体动力学基础理论与FLUENT软件概述 | 第59-61页 |
| 3.3 单排微细刀具的温度场仿真与实验验证研究 | 第61-65页 |
| 3.3.1 模型的建立 | 第61-62页 |
| 3.3.2 仿真结果与讨论 | 第62-63页 |
| 3.3.3 测温实验验证 | 第63-65页 |
| 3.4 批量化微细刀具制备参数的仿真与优化 | 第65-72页 |
| 3.4.1 模型的建立 | 第65-66页 |
| 3.4.2 仿真结果与讨论 | 第66-70页 |
| 3.4.3 沉积实验验证 | 第70-72页 |
| 3.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第四章 CVD金刚石涂层微细刀具的制备工艺优化研究 | 第73-91页 |
| 4.1 引言 | 第73-74页 |
| 4.2 微细刀具预处理工艺的优化 | 第74-80页 |
| 4.2.1 微细刀具的预处理过程 | 第74-76页 |
| 4.2.2 微细刀具预处理区域的优化 | 第76-78页 |
| 4.2.3 微细刀具预处理时间的优化 | 第78-80页 |
| 4.3 CVD金刚石涂层微细刀具的沉积工艺参数优化 | 第80-85页 |
| 4.3.1 形核反应气压的优化 | 第81-83页 |
| 4.3.2 基体温度的优化 | 第83-84页 |
| 4.3.3 碳源浓度的优化 | 第84-85页 |
| 4.4 动态掺硼过渡层工艺 | 第85-90页 |
| 4.5 本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 石墨加工用金刚石涂层微细刀具的制备与应用研究 | 第91-109页 |
| 5.1 引言 | 第91页 |
| 5.2 石墨与金刚石薄膜的摩擦学性能研究 | 第91-95页 |
| 5.2.1 摩擦实验的准备 | 第92页 |
| 5.2.2 石墨与金刚石薄膜摩擦过程分析 | 第92-93页 |
| 5.2.3 石墨与金刚石薄膜摩擦磨损表面分析 | 第93-95页 |
| 5.3 钻削石墨时微细钻头涂层类型优化 | 第95-100页 |
| 5.3.1 微细钻头上不同涂层的性能表征 | 第95-97页 |
| 5.3.2 不同涂层微细钻头钻削石墨性能比较 | 第97-100页 |
| 5.4 微米金刚石涂层微细石墨钻头涂层厚度的优化 | 第100-107页 |
| 5.4.1 不同厚度微米金刚石薄膜性能表征 | 第100-103页 |
| 5.4.2 不同厚度MCD涂层微细钻头加工高纯石墨切削性能比较 | 第103-107页 |
| 5.5 本章小结 | 第107-109页 |
| 第六章 CVD金刚石涂层微细PCB钻头的制备与应用研究 | 第109-125页 |
| 6.1 引言 | 第109-110页 |
| 6.2 PCB板与CVD金刚石薄膜之间的摩擦学性能 | 第110-114页 |
| 6.2.1 硬质合金球表面金刚石薄膜的表征 | 第110页 |
| 6.2.2 PCB板与金刚石薄膜摩擦过程分析 | 第110-111页 |
| 6.2.3 金刚石薄膜及PCB板磨损表面分析 | 第111-114页 |
| 6.3 薄膜类型与厚度对微细PCB钻头切削性能的影响 | 第114-122页 |
| 6.3.1 涂层薄膜类型优化 | 第114-119页 |
| 6.3.2 NCD涂层厚度的优化 | 第119-122页 |
| 6.4 本章小结 | 第122-125页 |
| 第七章 CVD金刚石涂层微细铝合金刀具的制备与应用研究 | 第125-141页 |
| 7.1 引言 | 第125页 |
| 7.2 铝合金与CVD金刚石薄膜的摩擦学性能 | 第125-131页 |
| 7.2.1 摩擦实验的准备 | 第126-127页 |
| 7.2.2 铝合金与金刚石薄膜间的摩擦实验过程分析 | 第127-128页 |
| 7.2.3 摩擦副中对磨区域的磨损表面分析 | 第128-131页 |
| 7.3 金刚石涂层微细铝合金钻头的优化制备 | 第131-140页 |
| 7.3.1 涂层类型对微细铝合金钻头钻削性能的影响 | 第131-136页 |
| 7.3.2 NCD涂层微细铝合金钻头涂层厚度的优化 | 第136-140页 |
| 7.4 本章小结 | 第140-141页 |
| 第八章 总结与展望 | 第141-149页 |
| 8.1 本文完成的主要研究工作和结论 | 第141-146页 |
| 8.2 本文主要创新点 | 第146-147页 |
| 8.3 下一步研究工作 | 第147-149页 |
| 参考文献 | 第149-159页 |
| 攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第159-163页 |
| 攻读博士学位期间获得的奖励 | 第163-165页 |
| 致谢 | 第165-167页 |
| 附录 应用证明 1 | 第167-168页 |
| 附录 应用证明 2 | 第168-169页 |
| 附录 应用证明 3 | 第169-171页 |
