| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·类金刚石碳膜简介 | 第10-11页 |
| ·类金刚石碳膜的性质 | 第11-13页 |
| ·力学与摩擦学性能 | 第12页 |
| ·光学性能 | 第12-13页 |
| ·电学性能 | 第13页 |
| ·耐腐蚀性能 | 第13页 |
| ·类金刚石碳膜在使用中面临的问题及解决方法 | 第13-14页 |
| ·掺Si类金刚石碳膜的研究现状 | 第14-17页 |
| ·掺Si对类金刚石碳膜力学性能影响的研究 | 第14-15页 |
| ·掺Si对类金刚石碳膜摩擦学性能影响的研究 | 第15-16页 |
| ·掺Si对类金刚石碳膜热稳定性能影响的研究 | 第16页 |
| ·掺Si对类金刚石碳膜光学性能影响的研究 | 第16-17页 |
| ·掺Si对类金刚石碳膜生物相容性影响的研究 | 第17页 |
| ·研究意义 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征方法 | 第19-27页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第19-21页 |
| ·实验设备及材料 | 第19页 |
| ·实验步骤 | 第19-21页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第21-27页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第21页 |
| ·扫面电子显微镜（SEM）分析 | 第21页 |
| ·金相显微镜分析 | 第21-22页 |
| ·Raman光谱分析 | 第22页 |
| ·能谱（EDS）分析 | 第22页 |
| ·X射线光电子能谱（XPS）分析 | 第22页 |
| ·薄膜力学性能测试 | 第22-26页 |
| ·薄膜摩擦学性能测试 | 第26-27页 |
| 第三章 非氢类金刚石碳膜的制备与表征 | 第27-48页 |
| ·典型类金刚石碳膜样品的XPS分析 | 第27-29页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜结构的影响 | 第29-34页 |
| ·沉积气压对类金刚石碳膜结构的影响 | 第29-32页 |
| ·基体负偏压对类金刚石碳膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜厚度的影响 | 第34-35页 |
| ·沉积气压对类金刚石碳膜厚度的影响 | 第34页 |
| ·基体负偏压对类金刚石碳膜厚度的影响 | 第34-35页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜力学性能的影响 | 第35-41页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜膜/基结合力的影响 | 第35-38页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜硬度和弹性模量的影响 | 第38-41页 |
| ·沉积工艺对类金刚石碳膜摩擦学性能的影响 | 第41-43页 |
| ·沉积气压对类金刚石碳膜摩擦学性能的影响 | 第41-42页 |
| ·基体脉冲偏压对类金刚石碳膜摩擦学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·测试条件对非氢类金刚石碳膜摩擦学性能的影响 | 第43-47页 |
| ·不同滑动速度条件下非氢类金刚石碳膜的摩擦学性能 | 第44页 |
| ·不同载荷条件下非氢类金刚石碳膜的摩擦学性能 | 第44-46页 |
| ·不同环境湿度条件下非氢类金刚石碳膜的摩擦学性能 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 非氢掺Si类金刚石碳膜的制备与表征 | 第48-64页 |
| ·掺Si类金刚石碳膜成分分析 | 第48-51页 |
| ·掺Si类金刚石碳膜的EDS成分分析 | 第48-49页 |
| ·典型掺Si类金刚石碳膜样品的XPS分析 | 第49-51页 |
| ·SiC靶功率密度对掺Si类金刚石碳膜厚度的影响 | 第51-52页 |
| ·SiC靶功率密度对掺Si类金刚石碳膜结构的影响 | 第52-54页 |
| ·SiC靶功率密度对掺Si类金刚石碳膜纳米硬度和弹性模量的影响 | 第54-56页 |
| ·SiC靶功率密度对掺Si类金刚石碳膜膜/基结合力的影响 | 第56页 |
| ·SiC靶功率密度对掺Si类金刚石碳膜摩擦学性能的影响 | 第56-62页 |
| ·低湿度条件下掺Si类金刚石碳膜的摩擦学性能 | 第56-60页 |
| ·高湿度条件下掺Si类金刚石碳膜的摩擦学性能 | 第60-61页 |
| ·最佳Si含量的确定 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 结论与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 附件 | 第75页 |
