| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 射频大气压放电的研究背景和现状 | 第8-10页 |
| 1.2 气体温度测量方法 | 第10-15页 |
| 1.2.1 热电偶 | 第11页 |
| 1.2.2 中性粒子密度测量气体温度 | 第11-12页 |
| 1.2.3 光谱轮廓 | 第12页 |
| 1.2.4 分子的转动分布 | 第12-15页 |
| 1.2.5 方法比较和讨论 | 第15页 |
| 1.3 大气压等离子体发射光谱诊断 | 第15-21页 |
| 1.3.1 热力学平衡模型 | 第15-18页 |
| 1.3.2 光谱线形机制 | 第18-20页 |
| 1.3.3 气体温度测量 | 第20-21页 |
| 1.4 论文研究内容与安排 | 第21-23页 |
| 2 实验系统介绍 | 第23-28页 |
| 2.1 实验装置 | 第23页 |
| 2.2 放电系统 | 第23-25页 |
| 2.2.1 电路系统 | 第23-24页 |
| 2.2.2 气路系统 | 第24-25页 |
| 2.3 测量系统 | 第25-28页 |
| 2.3.1 ICCD和光谱仪 | 第25页 |
| 2.3.2 电压探头与电流探头 | 第25-27页 |
| 2.3.3 光路系统 | 第27-28页 |
| 3 实验结果 | 第28-49页 |
| 3.1 实验系统不稳定性对实验数据的影响 | 第28-33页 |
| 3.1.1 ICCD的不稳定性影响研究 | 第28-30页 |
| 3.1.2 放电系统对气体温度的影响 | 第30-31页 |
| 3.1.3 气体温度测量稳定性验证 | 第31-33页 |
| 3.2 OH转动谱线光强随放电功率的变化 | 第33-34页 |
| 3.3 Ar谱线光强与放电功率的关系 | 第34-37页 |
| 3.4 射频大气压放电模式转变中气体温度的测量 | 第37-40页 |
| 3.5 OH峰移对气体温度和模式转化的影响 | 第40-45页 |
| 3.5.1 OH发射光谱峰移随放电功率的变化 | 第40-42页 |
| 3.5.2 碰撞频移系数选择方法 | 第42页 |
| 3.5.3 计入碰撞频移，气体温度随放电功率变化和模式转化的研究 | 第42-44页 |
| 3.5.4 计入碰撞频移计算气体温度的可信性验证 | 第44-45页 |
| 3.6 进气方式对等离子体放电特性的影响 | 第45-49页 |
| 3.6.1 进气方式对气体温度的影响 | 第45-47页 |
| 3.6.2 进气方式对伏安特性曲线的影响 | 第47-49页 |
| 4 结论与展望 | 第49-51页 |
| 4.1 结论 | 第49-50页 |
| 4.2 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |