| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题的来源、目的及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 飞秒激光加工技术研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 飞秒激光加工技术 | 第11-12页 |
| 1.2.2 FPC加工技术现状 | 第12-14页 |
| 1.3 不同偏振态的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5 论文的章节安排 | 第16-17页 |
| 第2章 飞秒激光在FPC材料上打孔机理 | 第17-29页 |
| 2.1 FPC结构及特性 | 第17-18页 |
| 2.2 飞秒激光与材料作用机理 | 第18-21页 |
| 2.2.1 激光与金属材料作用 | 第18-19页 |
| 2.2.2 激光与材料作用一般规律 | 第19-21页 |
| 2.3 激光打孔的特性 | 第21-22页 |
| 2.4 激光打孔机理与分类 | 第22-26页 |
| 2.4.1 激光打孔机理 | 第22-24页 |
| 2.4.2 激光打孔方式的分类 | 第24-26页 |
| 2.5 激光打孔的影响因素 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 FPC材料损伤阈值分析 | 第29-36页 |
| 3.1 FPC单脉冲飞秒激光损伤阈值分析 | 第29-32页 |
| 3.1.1 损伤阈值实验方案设计 | 第29-30页 |
| 3.1.2 损伤阈值计算原理 | 第30-32页 |
| 3.2 损伤阈值的实验系统与样品制备 | 第32-33页 |
| 3.2.1 损伤阈值实验系统 | 第32-33页 |
| 3.2.2 损伤阈值实验样品制备 | 第33页 |
| 3.3 FPC单脉冲飞秒激光损伤阈值实验结果与分析 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 飞秒矢量光场的偏振态控制 | 第36-47页 |
| 4.1 矢量光场的偏振态表述 | 第36-38页 |
| 4.2 4种偏振光控制原理及方法 | 第38-44页 |
| 4.2.1 空间光调制器 | 第39-40页 |
| 4.2.2 4f光学系统 | 第40-42页 |
| 4.2.3 4种偏振光控制原理分析 | 第42-44页 |
| 4.3 4种偏振光控制方法 | 第44-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 不同偏振飞秒激光FPC打孔实验及分析 | 第47-59页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 实验系统以及方案 | 第47-52页 |
| 5.2.1 加工系统原理及框图 | 第47-48页 |
| 5.2.2 飞秒激光器 | 第48-49页 |
| 5.2.3 液晶空间光调制器 | 第49-51页 |
| 5.2.4 CCD相机 | 第51页 |
| 5.2.5 三维运动平台 | 第51-52页 |
| 5.3 实验材料以及方法 | 第52-53页 |
| 5.4 工艺特性分析 | 第53-56页 |
| 5.4.1 不同偏振光能量对孔径大小影响 | 第53-54页 |
| 5.4.2 不同偏振光对烧蚀程度的影响 | 第54-55页 |
| 5.4.3 不同偏振光对圆度的影响 | 第55-56页 |
| 5.5 实例分析 | 第56-58页 |
| 5.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结与研究成果 | 第59-60页 |
| 6.2 工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附录一 攻读硕士学位期间发表学术论文及参与项目 | 第65-66页 |
| 附录二 章节 3.3 损伤阈值测量数据总表 | 第66页 |