| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-32页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·薄膜的制备方法和性能检测技术 | 第13-17页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·薄膜的性能检测技术 | 第17页 |
| ·固体基底表面薄膜的形成过程及组织结构 | 第17-21页 |
| ·固体基底表面薄膜的形成过程 | 第17-20页 |
| ·薄膜的非晶态结构 | 第20-21页 |
| ·薄膜的多晶结构 | 第21页 |
| ·液体基底表面薄膜的形成过程 | 第21-25页 |
| ·液体基底表面薄膜的生长过程 | 第22-23页 |
| ·液体基底表面连续薄膜的准周期结构 | 第23-25页 |
| ·固体基底和液体基底的凝聚特性区别 | 第25页 |
| ·离子液体的物理化学性质 | 第25-26页 |
| ·离子液体的粘度与温度之间的关系 | 第26页 |
| ·本文研究内容及其意义 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-32页 |
| 2 实验方法 | 第32-41页 |
| ·实验仪器及其工作原理 | 第32-38页 |
| ·真空热蒸发镀膜设备 | 第32-33页 |
| ·光学显微镜 | 第33-34页 |
| ·原子力显微镜 | 第34-36页 |
| ·透射电子显微镜 | 第36-38页 |
| ·实验方法 | 第38-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 3 实验结果及分析 | 第41-65页 |
| ·离子液体基底表面铝薄膜的形貌图 | 第41-44页 |
| ·不同名义厚度下离子液体基底表面铝薄膜的形貌图 | 第41-42页 |
| ·不同沉积速率下离子液体基底表面铝薄膜的形貌图 | 第42-43页 |
| ·离子液体基底表面凝聚体的特殊形貌图 | 第43-44页 |
| ·离子液体基底表面铝薄膜的AFM形貌及分析 | 第44-47页 |
| ·薄膜的形貌及特性 | 第44-45页 |
| ·薄膜的表面轮廓线 | 第45-46页 |
| ·形成薄膜的颗粒大小及分布 | 第46-47页 |
| ·离子液体基底表面铝薄膜的TEM形貌、结晶性及成膜机理 | 第47-54页 |
| ·准圆形凝聚体的粗化机制 | 第54-62页 |
| ·准圆形凝聚体的统计分布图 | 第54-57页 |
| ·准圆形凝聚体的数密度 | 第57-58页 |
| ·准圆形凝聚体的平均面积与薄膜名义厚度的关系 | 第58-61页 |
| ·准圆形凝聚体的平均直径与沉积速率的关系 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 4 结论与展望 | 第65-67页 |
| 附录A:实验材料的主要物理参数 | 第67页 |