基于DVD激光头的微位移检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·本研究课题的学术背景及理论与实际意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究水平和发展趋势 | 第9-14页 |
| ·非接触式检测方法 | 第10-14页 |
| ·非光学测量方法 | 第10-11页 |
| ·光学测量方法 | 第11-14页 |
| ·激光微位移测量技术的研究现状及发展趋势 | 第14-17页 |
| 2 激光头结构分析及工作原理 | 第17-25页 |
| ·激光头的基本构造 | 第17-20页 |
| ·激光二极管 | 第17-18页 |
| ·四象限光电感测器 | 第18-19页 |
| ·聚焦物镜 | 第19-20页 |
| ·执行器 | 第20页 |
| ·激光头的自动聚焦原理 | 第20-22页 |
| ·像散法自动聚焦 | 第22-24页 |
| ·本章总结 | 第24-25页 |
| 3 激光头的伺服控制系统设计 | 第25-36页 |
| ·激光头执行机构参数分析 | 第25-28页 |
| ·伺服控制系统的数学模型 | 第28-30页 |
| ·聚焦伺服控制系统设计 | 第30-35页 |
| ·聚焦伺服控制系统 | 第30-31页 |
| ·聚焦伺服控制系统的补偿放大控制 | 第31-35页 |
| ·本章总结 | 第35-36页 |
| 4 基于DVD激 光头的微位移检测系统实验设计 | 第36-52页 |
| ·实验系统的结构设计 | 第36-37页 |
| ·实验系统设计 | 第37-38页 |
| ·实验条件及环境 | 第38-41页 |
| ·实验系统平台 | 第38-39页 |
| ·实验环境及条件 | 第39-40页 |
| ·实验芯片功能介绍 | 第40-41页 |
| ·系统测试及分析 | 第41-51页 |
| ·聚焦误差信号的测量 | 第41-47页 |
| ·伺服聚焦误差信号与离焦量的关系 | 第47-49页 |
| ·系统性能分析 | 第49-51页 |
| ·本章总结 | 第51-52页 |
| 5 实测系统中的误差因素分析 | 第52-64页 |
| ·仪器本身的系统误差分析 | 第52-61页 |
| ·四象限感测器的误差分析 | 第52-57页 |
| ·柱面镜的误差分析 | 第57-59页 |
| ·分光镜的误差分析 | 第59-60页 |
| ·聚焦物镜的误差分析 | 第60-61页 |
| ·设计系统误差分析 | 第61-62页 |
| ·系统的噪声分析 | 第61页 |
| ·系统的安装误差分析 | 第61-62页 |
| ·环境因素误差分析 | 第62页 |
| ·本章总结 | 第62-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读 学位期间发表论文和承担的科研任务 | 第70-71页 |
| 附录 | 第71-74页 |
| 附图1 FES形成原理图 | 第71页 |
| 附图2 补偿放大原理图 | 第71-72页 |
| 附图3 伺服聚焦控制电路原理图 | 第72-73页 |
| 附图4 PCB硬件电路实物图 | 第73页 |
| 附图5 补偿控制电路框图 | 第73-74页 |
| 附图6 聚焦误差信号测试系统框图 | 第74页 |
| 附图7 伺服聚焦误差信号测试系统框图 | 第74页 |
