| 摘要 | 第1-16页 |
| Abstract | 第16-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-39页 |
| ·课题来源与研究背景 | 第19-22页 |
| ·研究课题来源 | 第19页 |
| ·课题研究的背景 | 第19-21页 |
| ·课题研究的意义 | 第21-22页 |
| ·国内外发展现状概述 | 第22-36页 |
| ·亚纳米精度制造概述 | 第22-25页 |
| ·测量与评价体系概述 | 第25-28页 |
| ·离子束抛光技术概述 | 第28-36页 |
| ·研究思路与主要内容 | 第36-39页 |
| ·亚纳米制造技术探讨 | 第36-37页 |
| ·主要研究思路 | 第37-38页 |
| ·主要研究内容 | 第38-39页 |
| 第二章 离子溅射的数学模型及其作用机理研究 | 第39-66页 |
| ·光学表面离子溅射的数学模型 | 第39-46页 |
| ·离子溅射的材料去除理论 | 第39-42页 |
| ·离子束去除函数的基本模型 | 第42-44页 |
| ·离子溅射的微观塑形行为 | 第44-46页 |
| ·离子溅射的多尺度作用机理研究 | 第46-52页 |
| ·宏观尺度去除函数的修正能力 | 第46-48页 |
| ·纳米尺度微观结构的生成现象 | 第48-50页 |
| ·微米尺度粗糙度影响因素研究 | 第50-52页 |
| ·离子溅射对表面材料的作用特性 | 第52-57页 |
| ·离子溅射的材料作用特性分析 | 第52-54页 |
| ·表面和亚表面低损伤特性验证 | 第54-56页 |
| ·溅射表面的低杂质污染验证 | 第56-57页 |
| ·材料特性对离子溅射的影响规律研究 | 第57-64页 |
| ·材料本身特性对离子溅射的影响 | 第58-60页 |
| ·预处理过程对离子溅射的影响 | 第60-63页 |
| ·表面局部溅射差异性的探讨 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第三章 光学表面亚纳米面形精度生成理论研究 | 第66-96页 |
| ·确定性离子束修形的基础理论 | 第66-68页 |
| ·亚纳米面形误差的强关联性分析 | 第68-70页 |
| ·面形误差收敛的影响规律研究 | 第70-77页 |
| ·抛光工具对制造精度的影响规律 | 第70-72页 |
| ·定位误差对制造精度的影响规律 | 第72-74页 |
| ·机床动态性能对制造精度影响规律 | 第74-77页 |
| ·高性能离子束加工系统的优化 | 第77-83页 |
| ·离子束加工系统模块分析 | 第77-79页 |
| ·离子束抛光工具的优化 | 第79-82页 |
| ·离子束多轴运动系统性能的提升 | 第82-83页 |
| ·亚纳米面形精度组合制造工艺研究 | 第83-86页 |
| ·组合制造工艺技术的提出 | 第83-85页 |
| ·面形误差和误差形态的控制 | 第85-86页 |
| ·亚纳米面形精度制造的材料优化去除 | 第86-94页 |
| ·材料优化去除方式的提出 | 第87-88页 |
| ·材料优化去除的理论分析 | 第88-91页 |
| ·材料优化去除的实验研究 | 第91-94页 |
| ·本章小结 | 第94-96页 |
| 第四章 面向曲面光学零件的精确修形理论 | 第96-116页 |
| ·曲面光学零件加工方式研究 | 第96-98页 |
| ·现有材料去除模型的问题分析 | 第98-99页 |
| ·离子束去除函数的非线性建模 | 第99-106页 |
| ·去除函数的非线性建模 | 第99-101页 |
| ·去除函数的动态模型 | 第101-102页 |
| ·动态模型仿真与验证 | 第102-106页 |
| ·材料确定性去除的精确模型 | 第106-110页 |
| ·改进的材料去除精确模型 | 第106-108页 |
| ·精确修形的驻留时间算法 | 第108-110页 |
| ·材料去除模型的对比性实验研究 | 第110-114页 |
| ·材料去除模型的仿真分析 | 第111-112页 |
| ·精确修形的对比实验验证 | 第112-114页 |
| ·本章小结 | 第114-116页 |
| 第五章 亚纳米精度制造伴生微结构机理与可调控性研究 | 第116-138页 |
| ·表面伴生的微纳结构现象 | 第116-120页 |
| ·微观形貌的表征方法 | 第116-117页 |
| ·高陡球面的修形实验 | 第117-118页 |
| ·表面伴生的微纳结构 | 第118-120页 |
| ·表面微观形貌演变的基本理论 | 第120-122页 |
| ·微观形貌的线性演变理论 | 第120-121页 |
| ·微观形貌演变非线性模型 | 第121-122页 |
| ·表面伴生微纳结构生成的规律 | 第122-130页 |
| ·溅射参数的影响规律研究 | 第122-126页 |
| ·外界污染的影响规律研究 | 第126-128页 |
| ·材料特性的影响规律研究 | 第128-130页 |
| ·微结构生成的影响规律探讨 | 第130页 |
| ·表面微纳结构的生成机理 | 第130-136页 |
| ·无定形材料的形貌演变机理 | 第131-134页 |
| ·特殊材料的形貌演变机理 | 第134-136页 |
| ·本章小结 | 第136-138页 |
| 第六章 超光滑表面生成规律与加工方法研究 | 第138-159页 |
| ·超光滑表面生成机理与规律 | 第138-141页 |
| ·超光滑表面生成机理 | 第138-139页 |
| ·超光滑表面生成规律 | 第139-141页 |
| ·材料微区特性的影响机理 | 第141-150页 |
| ·微区特性诱导微结构现象 | 第141-143页 |
| ·微区材料特性的检测分析 | 第143-145页 |
| ·微区材料特性的作用机理 | 第145-148页 |
| ·微区材料特性的影响规律 | 第148-150页 |
| ·特殊材料的超光滑表面生成方法与工艺 | 第150-157页 |
| ·确定性材料添加装置 | 第150-152页 |
| ·确定性材料添加方法 | 第152-154页 |
| ·材料添加与去除的联合修形技术 | 第154-156页 |
| ·联合工艺的超光滑表面生成工艺 | 第156-157页 |
| ·本章小结 | 第157-159页 |
| 第七章 亚纳米面形精度制造的工程应用研究 | 第159-174页 |
| ·亚纳米精度制造的组合工艺路线 | 第159-161页 |
| ·亚纳米精度表面的误差检测与评价 | 第161-163页 |
| ·亚纳米精度光学表面制造实例 | 第163-173页 |
| ·平面镜的亚纳米精度制造 | 第163-167页 |
| ·球面镜的亚纳米精度制造 | 第167-169页 |
| ·非球面镜的亚纳米精度制造 | 第169-173页 |
| ·本章小结 | 第173-174页 |
| 第八章 总结与展望 | 第174-178页 |
| ·全文总结 | 第174-177页 |
| ·研究展望 | 第177-178页 |
| 致谢 | 第178-180页 |
| 参考文献 | 第180-190页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第190-192页 |