| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-19页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第9页 |
| ·纳米位移测量方法研究现状 | 第9-17页 |
| ·论文的研究内容与组织结构 | 第17-19页 |
| 第二章 差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量原理与系统设计 | 第19-31页 |
| ·差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量原理 | 第19-21页 |
| ·测量系统的光路结构设计 | 第21-22页 |
| ·测量系统的机械结构设计 | 第22-26页 |
| ·系统整体结构设计 | 第22-23页 |
| ·参考镜支撑机构设计 | 第23-24页 |
| ·重要零部件的受力变形仿真 | 第24-26页 |
| ·差动式迈克尔逊干涉仪的系统整体结构及工作原理 | 第26-27页 |
| ·主要元器件的选择 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 差动式迈克尔逊干涉的信号处理系统设计 | 第31-45页 |
| ·干涉系统的信号处理方法设计 | 第31-39页 |
| ·干涉信号的预处理电路设计 | 第31页 |
| ·电压转换电路 | 第31-32页 |
| ·干涉信号的大数计数方法 | 第32-33页 |
| ·两路干涉信号的相位差测量方法 | 第33-35页 |
| ·相位差测量的速度变化补偿 | 第35-38页 |
| ·参考镜移动方向判断方法 | 第38-39页 |
| ·系统软件设计 | 第39-43页 |
| ·相位差测量软件设计 | 第39-42页 |
| ·位移测量软件设计 | 第42页 |
| ·上位机软件设计 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 实验与误差分析 | 第45-71页 |
| ·相位差测量补偿对比实验 | 第45-49页 |
| ·小数计数位移测量实验 | 第49-58页 |
| ·大数计数位移测量实验 | 第58-61页 |
| ·大小数结合位移测量实验 | 第61-66页 |
| ·误差分析 | 第66-69页 |
| ·空气折射率的影响 | 第66-67页 |
| ·激光器频率稳定性引起的误差 | 第67-69页 |
| ·温度变化等其它因素引起的误差 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·论文总结 | 第71-72页 |
| ·主要创新点 | 第71页 |
| ·完成的具体工作 | 第71-72页 |
| ·论文展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第78页 |