CVD法渗铝设备及工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 插图清单 | 第10-12页 |
| 表格清单 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·研究目的及意义 | 第13-14页 |
| ·铝化物涂层的制备工艺 | 第14-17页 |
| ·包埋渗铝 | 第14-15页 |
| ·气相渗铝 | 第15-16页 |
| ·CVD 渗铝 | 第16-17页 |
| ·本课题研究领域国内外的研究动态及发展趋势 | 第17-18页 |
| ·本课题研究内容 | 第18-19页 |
| ·本课题研究步骤与方法 | 第19-20页 |
| 第二章 CVD 渗铝气体渗铝剂及渗铝反应研究 | 第20-30页 |
| ·气体渗铝剂的选择及渗铝原理 | 第20-21页 |
| ·气体渗铝剂的选择 | 第20页 |
| ·气相氯化铝渗铝原理 | 第20-21页 |
| ·渗铝工艺的热力学计算 | 第21-28页 |
| ·渗铝工艺的热力学计算方法及依据 | 第21-22页 |
| ·Al 与 HCl 气体的反应 | 第22-23页 |
| ·镍基合金的渗铝反应 | 第23-24页 |
| ·金属氧化物与 H2、HCl 的反应 | 第24-28页 |
| ·CVD 渗铝中形成的金属氯化物试验分析 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 CVD 渗铝设备及工艺设计 | 第30-38页 |
| ·渗铝反应对设备和工艺设计的要求和指导 | 第30-31页 |
| ·双室 CVD 渗铝设备 | 第30页 |
| ·渗铝炉罐采用高镍铬合金制造 | 第30-31页 |
| ·采用 N2-HCl-H2供气体系 | 第31页 |
| ·CVD 渗铝系统设计 | 第31-34页 |
| ·反应系统 | 第32页 |
| ·控制系统 | 第32-34页 |
| ·尾气处理系统 | 第34页 |
| ·CVD 渗铝炉设计 | 第34-36页 |
| ·渗铝炉结构设计 | 第34-35页 |
| ·渗铝炉加热功率计算及保温体设计 | 第35-36页 |
| ·工艺设计 | 第36-37页 |
| ·气体铝化物生成工艺 | 第36-37页 |
| ·渗铝工艺 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 CVD 渗铝层研究 | 第38-53页 |
| ·试验选材 | 第38-39页 |
| ·CVD 渗铝层制备工艺 | 第39页 |
| ·检测方法 | 第39-41页 |
| ·XRD 检测 | 第39-40页 |
| ·SEM 及 EDS 检测 | 第40-41页 |
| ·渗铝层结构和成分 | 第41-52页 |
| ·Inconel718 表面渗铝层 | 第41-47页 |
| ·AISI 304 表面渗铝层 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 CVD 渗铝层高温氧化性能研究 | 第53-58页 |
| ·实验材料 | 第53页 |
| ·高温氧化性能实验方法 | 第53-54页 |
| ·渗铝层高温氧化性能试验 | 第54-57页 |
| ·抗高温氧化试验结果及分析 | 第54-56页 |
| ·渗铝层抗高温氧化机理分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录：攻读硕士学位期间的主要工作及发表的文章 | 第64页 |
