多元氮化物硬质反应膜的成分与性能优化
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| ·多元氮化物硬质反应膜简介 | 第11-13页 |
| ·二元氮化物硬质反应膜 | 第11-12页 |
| ·多元氮化物硬质反应膜 | 第12页 |
| ·多元多层氮化物硬质反应膜 | 第12-13页 |
| ·多元氮化物硬质反应梯度膜 | 第13页 |
| ·多弧离子镀简介 | 第13-15页 |
| ·多弧离子镀设备 | 第13-14页 |
| ·多弧离子镀技术特点 | 第14-15页 |
| ·TiAlN、TiNbN 薄膜研究进展 | 第15-18页 |
| ·TiAlN 薄膜研究进展 | 第15-16页 |
| ·TiNbN 薄膜研究进展 | 第16-18页 |
| ·本课题的提出 | 第18-19页 |
| 2 实验材料及研究方法 | 第19-27页 |
| ·靶材和基体的选取 | 第19-20页 |
| ·靶材的选取 | 第19页 |
| ·基体的选取 | 第19页 |
| ·基体材料表面预处理 | 第19-20页 |
| ·沉积工艺参数制定 | 第20-22页 |
| ·基体负偏压 | 第20页 |
| ·阴极弧电流 | 第20-21页 |
| ·反应气体压强 | 第21页 |
| ·试样温度 | 第21页 |
| ·反应室真空度 | 第21页 |
| ·试样旋转速度 | 第21-22页 |
| ·沉积时间 | 第22页 |
| ·沉积工艺参数与试验方案 | 第22-24页 |
| ·膜层组织及相结构分析 | 第24页 |
| ·膜层性能分析 | 第24-27页 |
| 3 TiAlNbN 复合硬质膜 | 第27-45页 |
| ·TiAlNbN 复合膜表面形貌与成分分析 | 第27-30页 |
| ·TiAlNbN 复合膜表面形貌 | 第27-28页 |
| ·TiAlNbN 复合膜成分 | 第28-30页 |
| ·TiAlNbN 复合膜断面组织分析 | 第30-31页 |
| ·TiAlNbN 复合膜相组成分析 | 第31-32页 |
| ·TiAlNbN 复合膜显微硬度与附着力分析 | 第32-35页 |
| ·TiAlNbN 复合膜显微硬度 | 第32-34页 |
| ·TiAlNbN 复合膜附着力 | 第34-35页 |
| ·TiAlNbN 复合膜摩擦磨损性能分析 | 第35-39页 |
| ·TiAlNbN 复合膜抗热震性能分析 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-45页 |
| 4 TiAlNbN 梯度成分硬质膜 | 第45-71页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜表面形貌与成分分析 | 第45-48页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜表面形貌 | 第45-47页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜表面成分 | 第47-48页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜断面组织分析 | 第48-50页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜相组成分析 | 第50-52页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜显微硬度与附着力分析 | 第52-55页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜显微硬度 | 第52-54页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜附着力 | 第54-55页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜摩擦磨损性能分析 | 第55-63页 |
| ·TiAlNbN 梯度膜抗热震性能分析 | 第63-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 5 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 在学期间研究成果 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
