| 目录 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-11页 |
| ABSTRACT | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-31页 |
| ·集成光学概述 | 第14页 |
| ·光波导的研究背景及应用 | 第14-17页 |
| ·薄膜光波导的研究进展 | 第17页 |
| ·薄膜光波导的制备方法 | 第17-18页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)法简介 | 第18-21页 |
| ·PLD技术的制膜机理 | 第19-20页 |
| ·PLD技术的特点 | 第20-21页 |
| ·本论文工作的目的和意义 | 第21-24页 |
| ·本论文的研究工作 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-31页 |
| 第二章 薄膜光波导理论及测试方法简介 | 第31-46页 |
| ·线光学理论 | 第31-40页 |
| ·光线在介质界面的反射和折射 | 第31-33页 |
| ·薄膜波导结构及光的传导模式 | 第33-34页 |
| ·平面介质波导中的导波 | 第34-40页 |
| ·测试方法简介 | 第40-45页 |
| ·台阶仪 | 第40页 |
| ·卢瑟福背散射分析技术(RBS)简介 | 第40页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第40-41页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第41页 |
| ·原子力显微镜(AFM)简介 | 第41-42页 |
| ·棱镜耦合法 | 第42-43页 |
| ·X射线衍射 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第三章 YbVO_4与Er：YbVO_4晶体的生长及性能研究 | 第46-62页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·YbVO_4原料的合成 | 第46-48页 |
| ·固相合成法 | 第46页 |
| ·液相合成法 | 第46-48页 |
| ·提拉法生长YbVO_4晶体 | 第48-51页 |
| ·温场设计原则 | 第48页 |
| ·生长方法及装置 | 第48-49页 |
| ·YbVO_4晶体的提拉生长 | 第49-51页 |
| ·晶体的结晶学性质 | 第51-53页 |
| ·YbVO_4的基本物理性质 | 第53-59页 |
| ·密度的测量 | 第53-54页 |
| ·热膨胀系数的测定 | 第54-56页 |
| ·比热的测定 | 第56-57页 |
| ·热导率测量 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 Nd：GdVO_4光波导薄膜的制备及其特性研究 | 第62-76页 |
| ·选取衬底 | 第62-64页 |
| ·Nd：GdVO_4薄膜波导的制备 | 第64-65页 |
| ·薄膜的结构 | 第65-70页 |
| ·RBS技术分析结果 | 第65-67页 |
| ·X射线衍射分析 | 第67-68页 |
| ·AFM分析结果 | 第68-69页 |
| ·SEM分析结果 | 第69-70页 |
| ·薄膜的波导性能研究 | 第70-73页 |
| ·有效折射率的测量 | 第70-72页 |
| ·波导性能测试 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第五章 Nd：LuVO_4光波导薄膜的制备及其特性研究 | 第76-95页 |
| ·选取靶材和衬底 | 第76-77页 |
| ·以n(100)Si／SiO_2及石英玻璃为衬底制备Nd：LuVO_4薄膜 | 第77-86页 |
| ·RBS技术分析结果 | 第78-79页 |
| ·X射线衍射分析 | 第79-81页 |
| ·AFM分析结果 | 第81-84页 |
| ·SEM分析结果 | 第84页 |
| ·波导的特性研究 | 第84-86页 |
| ·以(006)蓝宝石及(001)LGS为衬底制备Nd：LuVO_4薄膜 | 第86-91页 |
| ·Nd：LuVO_4薄膜样品制备 | 第86-87页 |
| ·Nd：LuVO_4薄膜样品分析 | 第87-89页 |
| ·波导的特性研究 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-95页 |
| 第六章 Nd：YVO_4光波导薄膜的制备及其特性研究 | 第95-104页 |
| ·制备Nd：YVO_4薄膜样品 | 第95-96页 |
| ·Nd：YVO_4样品分析 | 第96-99页 |
| ·样品的波导性能研究 | 第99-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-104页 |
| 第七章 YbVO_4及Er：YbVO_4光波导薄膜的制备及其特性研究 | 第104-115页 |
| ·以(006)蓝宝石为衬底制备YbVO_4及Er：YbVO_4薄膜 | 第104-107页 |
| ·X射线衍射分析 | 第105-106页 |
| ·AFM分析结果 | 第106-107页 |
| ·波导的特性研究 | 第107页 |
| ·以Si／SiO_2为衬底制备YbVO_4及Er：YbVO_4薄膜 | 第107-113页 |
| ·X射线衍射分析 | 第108-109页 |
| ·HRSEM断面分析 | 第109-110页 |
| ·AFM分析结果 | 第110-113页 |
| ·波导的特性研究 | 第113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-115页 |
| 第八章 主要结论及有待进一步开展的工作 | 第115-118页 |
| ·主要结论 | 第115-116页 |
| ·主要创新点 | 第116-117页 |
| ·有待进一步开展的工作 | 第117-118页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第120页 |
