| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·压电材料和铁电材料简介 | 第10-13页 |
| ·驱动器用无铅压电陶瓷的研究进展 | 第13-15页 |
| ·无铅铁电薄膜的研究进展 | 第15-17页 |
| ·本论文的提出和研究内容 | 第17-19页 |
| ·问题的提出与实验思路 | 第17-18页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验方法与内容 | 第19-25页 |
| ·实验内容 | 第19页 |
| ·陶瓷的制备 | 第19-21页 |
| ·实验仪器和主要原料 | 第19-20页 |
| ·制备工艺 | 第20-21页 |
| ·薄膜样品的制备方法与仪器 | 第21-22页 |
| ·样品结构与电性能表征 | 第22-25页 |
| ·结构表征 | 第22-23页 |
| ·电性能表征 | 第23-25页 |
| 第三章 高场致应变无铅压电陶瓷的结构与性能研究 | 第25-47页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·BNBTZX 体系的结构与电性能 | 第25-37页 |
| ·相结构 | 第25-27页 |
| ·常温下铁电、压电及场致应变性能 | 第27-31页 |
| ·变温下铁电、压电及介电性能 | 第31-37页 |
| ·BNBTANX 体系的结构与电性能 | 第37-46页 |
| ·相结构 | 第37-38页 |
| ·常温铁电、压电及场致应变性能 | 第38-41页 |
| ·变温下铁电、压电及介电性能 | 第41-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 无铅铁电薄膜的制备研究 | 第47-67页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·MPB 组分纯 BNT-BT 薄膜的制备与电性能 | 第47-49页 |
| ·MPB 组分 MN 掺杂 BNT-BT 薄膜的制备与电性能 | 第49-65页 |
| ·Si 基 BNBMT 薄膜的制备与电性能 | 第50-54页 |
| ·不同缓冲层对 Si 基 BNBMT 薄膜的结构及电性能的影响 | 第54-61页 |
| ·基于单晶衬底的 BNBMT 薄膜的结构和电性能研究 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士期间的研究成果和获奖情况 | 第75-76页 |
