| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景与意义 | 第10页 |
| ·Cr 基硬质薄膜的研究现状 | 第10-16页 |
| ·氧化铬薄膜 | 第10-13页 |
| ·含 Cr 的类金刚石薄膜 | 第13-16页 |
| ·多层膜的表面及界面性能 | 第16-19页 |
| ·表面缺陷 | 第16-18页 |
| ·界面性能 | 第18-19页 |
| ·多层膜 | 第19页 |
| ·选题依据 | 第19-20页 |
| ·本文研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验方案 | 第22-29页 |
| ·实验设备 | 第22-23页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第23-25页 |
| ·基体预处理 | 第23页 |
| ·Cr/Cr_xO_y多层膜的制备工艺 | 第23-25页 |
| ·Cr 调制多层 DLC 薄膜的制备工艺 | 第25页 |
| ·Cr 梯度掺杂多层 DLC 薄膜的制备工艺 | 第25页 |
| ·薄膜表征方法 | 第25-29页 |
| ·微观形貌 | 第25-26页 |
| ·结构和成分分析 | 第26页 |
| ·力学性能分析 | 第26-29页 |
| 第3章 Cr/Cr_xO_y多层膜表面性能研究 | 第29-36页 |
| ·沉积特点和 Cr/Cr_xO_y多层膜结构 | 第29-30页 |
| ·坑和液滴的现象以及可能的形成机理 | 第30-31页 |
| ·工艺参数对薄膜力学性能的影响 | 第31-32页 |
| ·正交测试、方差分析以及最优化工艺参数 | 第32-34页 |
| ·工艺参数对表面缺陷尺寸和密度的影响 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 不同调制周期的 Cr/DLC 多层膜 | 第36-46页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第36-38页 |
| ·薄膜的结构和成分分析 | 第38-42页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 不同梯度掺杂的 Cr-DLC 多层膜 | 第46-55页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第46-48页 |
| ·薄膜的结构和成分分析 | 第48-52页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 三种不同 Cr 基过渡 DLC 多层膜界面性能研究 | 第55-60页 |
| ·三种不同 Cr 基过渡 DLC 多层膜的内应力 | 第55-56页 |
| ·三种不同 Cr 基过渡 DLC 多层膜的结合力 | 第56-57页 |
| ·三种不同 Cr 基过渡界面性能的影响机理 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第7章 结论 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 个人简历 | 第70-71页 |
| 在学期间研究成果 | 第71页 |