一种全光固体扫描器的研制

致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-7页
目录	第7-9页
第一章 绪论	第9-15页
·研究背景与意义	第9-11页
·国内外发展现状	第11-12页
·几种传统扫描器介绍	第12-13页
·本文主要任务	第13-15页
第二章 载流子诱导折射率变化原理	第15-23页
·带填充效应	第15-17页
·带隙收缩效应	第17-19页
·自由载流子吸收	第19页
·各种效应的综合	第19-21页
·本章小结	第21-23页
第三章 全光固体扫描器芯片的结构设计	第23-33页
·异质结概述	第23-27页
·异质结的能级结构分析	第24-27页
·光波导的形成	第27-31页
·平板光波导理论	第27-29页
·GaAs 材料的光学特性	第29-30页
·半导体表面金属掩模设计	第30-31页
·本章小结	第31-33页
第四章 扫描器器件相关工艺介绍	第33-41页
·外延生长工艺	第33-37页
·化学气相沉积	第33-35页
·分子束外延	第35-37页
·光刻工艺	第37-39页
·本章小结	第39-41页
第五章 全光固体扫描器器件性能测试	第41-51页
·光学模拟实验测试	第41-44页
·实验平台搭建及器件性能测试	第44-49页
·扫描器芯片对信号光偏转角度的测试	第47-48页
·扫描器出射端面光斑模式的测试	第48-49页
·本章小结	第49-51页
第六章 总结与展望	第51-53页
参考文献	第53-59页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果	第59页