熔盐电化学方法在钽表面沉积碳膜的研究
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-8页 |
目录 | 第8-10页 |
第1章 绪论 | 第10-21页 |
·碳膜的概述 | 第10-13页 |
·碳膜的结构及组成 | 第10-11页 |
·碳膜的性能及应用 | 第11-13页 |
·碳膜的制备方法 | 第13-19页 |
·物理气相沉积法(PVD) | 第13-16页 |
·化学气相沉积法(CVD) | 第16-17页 |
·液相电化学沉积法 | 第17-19页 |
·碳膜的表征方法 | 第19页 |
·论文的研究目的和研究内容 | 第19-21页 |
第2章 钽基体的氧化行为研究 | 第21-32页 |
·实验内容 | 第21-22页 |
·实验药品及仪器 | 第21-22页 |
·实验步骤 | 第22页 |
·结果与讨论 | 第22-31页 |
·Ta基体的表面形貌 | 第22页 |
·Ta基体的氧化行为 | 第22-29页 |
·Ta基体经氧化后膜层附着力的测试 | 第29-31页 |
·小结 | 第31-32页 |
第3章 钽基体表面电化学沉积碳膜 | 第32-58页 |
·实验内容 | 第32-36页 |
·实验药品及仪器 | 第32-33页 |
·实验装置 | 第33-34页 |
·实验步骤 | 第34-36页 |
·电化学沉积碳膜的过程中相关物质分解电压的计算 | 第36-39页 |
·熔盐分解电压的计算 | 第36-37页 |
·预氧化处理的Ta基体表面氧化物分解电压的计算 | 第37-38页 |
·K_2CO_3分解电压的计算 | 第38-39页 |
·结果与讨论 | 第39-57页 |
·Ta基体表面电化学沉积碳膜 | 第39-47页 |
·实验温度对Ta基体表面沉积碳膜的影响 | 第47-52页 |
·碳沉积量对Ta基体表面沉积碳膜的影响 | 第52-57页 |
·小结 | 第57-58页 |
第4章 结论 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-63页 |
致谢 | 第63页 |