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DLC薄膜的制备及抗辐照特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
1 绪论第9-14页
   ·DLC 薄膜研究进展第9-10页
   ·DLC 薄膜的基本性质第10-11页
     ·DLC 薄膜的成分与结构第10页
     ·DLC 薄膜的性能第10-11页
   ·DLC 膜的制备方法第11-12页
     ·物理气相沉积第11页
     ·化学气相沉积第11-12页
   ·DLC 薄膜应用现状及存在的问题第12页
   ·本文的研究意义及研究内容第12-14页
2 DLC 薄膜的制备第14-29页
   ·实验部分第14-15页
     ·PECVD 方法简介第14页
     ·实验设备及工作原理第14-15页
   ·DLC 薄膜的制备第15-16页
   ·常用测试技术第16-17页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第16页
     ·能谱(EDX)第16-17页
     ·原子力显微镜(AFM)第17页
     ·傅里叶变换红外光谱(FTIR)第17页
     ·拉曼光谱(Raman)第17页
   ·结果与讨论第17-28页
     ·沉积气压变化对 DLC 薄膜制备的影响第17-21页
     ·沉积时间变化对 DLC 薄膜制备的影响第21-24页
     ·放电电压变化对 DLC 薄膜制备的影响第24-28页
   ·小结第28-29页
3 DLC 膜的退火实验第29-32页
   ·实验部分第29页
   ·结果与讨论第29-31页
   ·小结第31-32页
4 用 He+离子辐照 DLC 膜第32-55页
   ·实验部分第32-33页
     ·离子注入技术简介第32页
     ·实验设备及工作原理第32-33页
     ·用 He+离子辐照DLC薄膜第33页
   ·结果与讨论第33-54页
     ·He+离子辐照能量变化对DLC薄膜的影响第33-39页
     ·He+离子辐照温度变化对DLC薄膜的影响第39-45页
     ·He+离子辐照剂量变化对DLC薄膜的影响第45-54页
   ·小结第54-55页
结论第55-57页
参考文献第57-59页
攻读硕士期间发表学术论文情况第59-60页
致谢第60页

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