溅射法制备ZnO薄膜及其表面统计特性
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第10-13页 |
| ·ZnO的结构 | 第10-12页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第12-13页 |
| ·ZnO中非故意掺杂杂质 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的性能 | 第13-15页 |
| ·光电特性 | 第14页 |
| ·气敏特性 | 第14-15页 |
| ·压电特性 | 第15页 |
| ·压敏特性 | 第15页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第15-16页 |
| ·气体分子感测器与表面声波滤波器 | 第15-16页 |
| ·光电及发光二极管 | 第16页 |
| ·太阳能电池 | 第16页 |
| ·其他用途 | 第16页 |
| ·本论文研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 薄膜的制备技术 | 第18-30页 |
| ·磁控溅射法 | 第18-27页 |
| ·溅射理论 | 第18-19页 |
| ·薄膜成核成长理论 | 第19-21页 |
| ·溅射镀膜的基本过程 | 第21-22页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第22-27页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第27页 |
| ·分子束外延法 | 第27-28页 |
| ·化学气相沉积法 | 第28页 |
| ·喷雾热分解法 | 第28-29页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第29-30页 |
| 第3章 ZnO薄膜的制备及检测 | 第30-41页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第30页 |
| ·ZnO薄膜的检测 | 第30-41页 |
| ·卢瑟福背散射分析技术 | 第30-33页 |
| ·X射线衍射仪 | 第33-36页 |
| ·原子力显微镜 | 第36-41页 |
| 第4章 结果与讨论 | 第41-48页 |
| ·成膜质量分析 | 第41-42页 |
| ·溅射气压对薄膜表面粗糙度的影响 | 第42-44页 |
| ·衬底材料对薄膜质量的影响 | 第44-46页 |
| ·随机表面的统计特性 | 第46-48页 |
| 第5章 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·总结 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读硕士学位期间论文发表及科研情况 | 第56页 |
