| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·背景 | 第9-11页 |
| ·阳极键合技术 | 第11-13页 |
| ·定义 | 第11-12页 |
| ·特点 | 第12-13页 |
| ·阳极键合技术的应用 | 第13-14页 |
| ·多层阳极键合 | 第14-15页 |
| ·阳极键合应力应变有限元分析 | 第15-16页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 五层玻璃/铝阳极键合工艺试验 | 第17-23页 |
| ·工艺试验 | 第17-18页 |
| ·试验材料 | 第17页 |
| ·试验过程 | 第17-18页 |
| ·五层玻璃/铝键合试样的微观分析 | 第18-21页 |
| ·SEM 分析 | 第18-19页 |
| ·EDS 分析 | 第19-20页 |
| ·XRD 分析 | 第20-21页 |
| ·五层玻璃/铝键合试样的过渡层分析 | 第21-22页 |
| ·五层玻璃/铝键合试件力学性能测试分析 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 七层玻璃/铝阳极键合件残余应力应变数值模拟 | 第23-33页 |
| ·Marc 软件分析步骤 | 第23-26页 |
| ·几何模型和网格划分 | 第24-25页 |
| ·、定义材料物理参数 | 第25页 |
| ·定义边界条件和初始条件 | 第25-26页 |
| ·有限元求解 | 第26页 |
| ·有限元计算结果的后处理 | 第26页 |
| ·七层玻璃/铝阳极键合试件数值模拟结果与分析 | 第26-32页 |
| ·残余变形分布特点 | 第26-28页 |
| ·残余应力分布特点 | 第28-30页 |
| ·冷却时间对残余应力应变的影响 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 九层玻璃/铝阳极键合接头残余应力应变数值模拟 | 第33-41页 |
| ·有限元模型和参数 | 第33页 |
| ·九层玻璃/铝阳极键合试件数值模拟结果分析 | 第33-40页 |
| ·残余变形分布特点 | 第33-36页 |
| ·残余应力 | 第36-38页 |
| ·残余应变 | 第38-39页 |
| ·冷却时间对残余应力应变的影响 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第五章 多层键合件残余应力应变对比分析及模型 | 第41-55页 |
| ·多层阳极键合试件模型对比 | 第41-44页 |
| ·材料和样品尺寸 | 第41-42页 |
| ·有限元模型 | 第42-43页 |
| ·多层阳极键合件参数点选取 | 第43-44页 |
| ·多层阳极键合试件结果分析 | 第44-53页 |
| ·残余总变形分析 | 第44-46页 |
| ·残余应力分析 | 第46-49页 |
| ·剪切应力分析 | 第49-51页 |
| ·残余应变分析 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第53-55页 |
| 第六章 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及研究成果 | 第62-63页 |