面向再制造的亚/超临界CO2清洗技术研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-10页 |
1 绪论 | 第10-28页 |
·论文选题背景及意义 | 第10-13页 |
·再制造工程概述 | 第13-15页 |
·再制造清洗技术研究现状及发展趋势 | 第15-21页 |
·再制造清洗污垢 | 第15-16页 |
·再制造清洗力 | 第16-17页 |
·再制造清洗介质 | 第17页 |
·再制造清洗技术分类总结及发展趋势 | 第17-21页 |
·亚/超临界二氧化碳清洗技术研究与应用现状 | 第21-26页 |
·环境友好型清洗剂 | 第21-23页 |
·超临界二氧化碳在半导体精密清洗中的应用 | 第23-25页 |
·亚/超临界二氧化碳其他清洗应用及研究 | 第25-26页 |
·论文的研究目标 | 第26页 |
·论文的结构安排和创新点 | 第26-28页 |
2 亚/超临界二氧化碳清洗技术理论基础及机理分析 | 第28-46页 |
·亚/超临界二氧化碳的概念和特性 | 第28-30页 |
·二氧化碳的物化特征 | 第30-33页 |
·密度 | 第30-31页 |
·极性 | 第31页 |
·扩散系数和粘度 | 第31-32页 |
·表面张力 | 第32-33页 |
·粘附污垢层形成机理 | 第33-36页 |
·粘附机制 | 第33-34页 |
·粘附力分类 | 第34-36页 |
·污垢脱附过程 | 第36-38页 |
·清洗机理理论体系 | 第38-45页 |
·溶解度参数理论 | 第38-39页 |
·热力学第二定律 | 第39-40页 |
·热力学相平衡理论 | 第40-41页 |
·对流传质理论 | 第41-42页 |
·浸润和渗透理论 | 第42-43页 |
·溶胀理论 | 第43-44页 |
·共溶剂理论 | 第44-45页 |
·本章小结 | 第45-46页 |
3 清洗实验设计与结果分析 | 第46-57页 |
·清洗实验平台简介 | 第46-48页 |
·储罐和缓冲器 | 第47页 |
·清洗釜 | 第47-48页 |
·分离釜 | 第48页 |
·除水器 | 第48页 |
·高压泵 | 第48页 |
·清洗实验工艺流程设计 | 第48-49页 |
·实验设计与结果分析 | 第49-55页 |
·润滑油的清洗 | 第49-51页 |
·润滑脂的清洗 | 第51-55页 |
·重质油污的清洗 | 第55页 |
·本章小结 | 第55-57页 |
4 超声场耦合强化清洗可行性研究 | 第57-76页 |
·超声波原理与耦合应用 | 第57-61页 |
·超声波基本原理 | 第57-59页 |
·功率超声的耦合应用 | 第59-61页 |
·超声耦合强化清洗机理分析 | 第61-64页 |
·边界层理论 | 第61-62页 |
·超声空化效应 | 第62-64页 |
·其他效应 | 第64页 |
·超声空化阈值规律分析 | 第64-66页 |
·超声空化泡动力学建模及求解 | 第66-69页 |
·动力学建模过程 | 第66-68页 |
·数值计算求解 | 第68-69页 |
·动力学仿真结果讨论 | 第69-75页 |
·声压幅值影响规律 | 第69-70页 |
·声波频率影响规律 | 第70-71页 |
·体系压力影响规律 | 第71-72页 |
·体系温度影响规律 | 第72-73页 |
·模型验证及工艺参数优化 | 第73-75页 |
·本章小结 | 第75-76页 |
5 总结与展望 | 第76-78页 |
·总结 | 第76-77页 |
·展望 | 第77-78页 |
参考文献 | 第78-82页 |
附录A 清洗实验数据 | 第82-84页 |
附录B 亚临界二氧化碳流体超声空化阈值 | 第84-85页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第85-86页 |
致谢 | 第86-87页 |