Zr-Co-RE薄膜的制备和吸气性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·吸气材料及应用 | 第10-14页 |
| ·吸气剂基本概念 | 第10-12页 |
| ·微真空封装特点 | 第12-13页 |
| ·吸气薄膜的优势 | 第13-14页 |
| ·吸气过程基本原理 | 第14-20页 |
| ·吸气热力学理论 | 第14-18页 |
| ·吸气动力学理论 | 第18-20页 |
| ·薄膜吸气材料的国内外研究概况 | 第20-24页 |
| ·吸气材料体系与制备技术 | 第20-22页 |
| ·薄膜结构、性能及应用现状 | 第22-24页 |
| ·吸气薄膜发展趋势和问题 | 第24页 |
| ·本文的研究内容 | 第24-25页 |
| 2 实验设计方法与装置 | 第25-30页 |
| ·设计原则与思路 | 第25-27页 |
| ·Zr-Co-RE薄膜制备方法 | 第27-28页 |
| ·薄膜样品表征 | 第28页 |
| ·吸气性能测定 | 第28-30页 |
| 3 Zr-Co-RE薄膜制备工艺和激活特性研究 | 第30-46页 |
| ·溅射功率研究 | 第30-32页 |
| ·溅射功率与沉积速率 | 第30-31页 |
| ·溅射功率与薄膜结构形貌 | 第31-32页 |
| ·沉积压强研究 | 第32-37页 |
| ·沉积压强与沉积速率 | 第33页 |
| ·沉积压强与薄膜形貌 | 第33-37页 |
| ·衬底表面性质研究 | 第37-42页 |
| ·衬底表面处理与薄膜结构形貌 | 第37-40页 |
| ·衬底类型影响 | 第40-41页 |
| ·刻蚀衬底、低功率及掠射角影响 | 第41-42页 |
| ·低温激活特性研究 | 第42-45页 |
| ·延时激活薄膜结构变化 | 第43页 |
| ·二次激活结构变化与性能衰减 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 Zr-Co-RE薄膜吸气性能优化研究 | 第46-59页 |
| ·膜层结构设计优化 | 第46-51页 |
| ·膜层设计与制备方法 | 第46-47页 |
| ·多层膜结构与吸气性能 | 第47-51页 |
| ·双层膜衬底表面改性优化 | 第51-53页 |
| ·衬底改性双层膜制备与形貌 | 第51页 |
| ·衬底改性双层膜与吸气性能 | 第51-53页 |
| ·激活过程工艺优化 | 第53-55页 |
| ·激活温度与激活时间优化 | 第53-54页 |
| ·铜片衬底辅助激活优化 | 第54-55页 |
| ·薄膜的吸气容量分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
