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齿轮材料表面复合镀Ti1-xAlxN膜层工艺与性能研究

摘要第1-3页
Abstract第3-9页
第1章 绪论第9-19页
   ·研究背景和意义第9页
   ·齿轮失效形式及强化方法第9-12页
     ·齿轮的主要失效形式第9-11页
     ·常用的齿轮强化方法第11-12页
   ·离子渗氮技术第12-13页
     ·离子渗氮技术的定义与特点第12-13页
     ·离子渗氮技术的应用现状第13页
     ·离子渗氮技术的发展趋势第13页
   ·多弧离子镀技术第13-16页
     ·多弧离子镀的原理及特点第14-15页
     ·多弧离子镀的应用和发展第15-16页
   ·TiAlN 材料的研究现状及发展第16-17页
     ·TiAlN 国外研究现状第16页
     ·TiAlN 国内研究现状第16页
     ·TiAlN 膜层的发展趋势第16-17页
   ·离子渗氮与离子镀复合处理技术第17-18页
   ·本论文研究内容第18-19页
第2章 试验材料及方法第19-24页
   ·试验材料第19页
   ·试样尺寸及形状第19-20页
   ·试验设备第20-21页
   ·表面处理工艺第21-22页
   ·形貌及性能检测分析第22-24页
     ·形貌观察及相结构分析第22-23页
     ·硬度及结合力分析第23页
     ·抗氧化性及摩擦磨损试验分析第23-24页
第3章 制备工艺的研究第24-46页
   ·离子渗氮第24-27页
     ·离子渗氮工艺第24-25页
     ·表面形貌与性能分析第25-27页
   ·TiN 工艺的研究第27-29页
   ·Ti_(0.33)Al_(0.67)N 膜层的制备与性能第29页
   ·涂层制备工艺正交试验第29-34页
     ·沉积工艺第30-31页
     ·正交试验结果及其分析第31-32页
     ·正交试验后的优化工艺第32页
     ·优化工艺下膜层表面形貌及厚度观察第32-34页
   ·基体负偏压对膜层形貌与性能的影响第34-37页
     ·基体负偏压对膜层表面形貌的影响第34-35页
     ·基体负偏压对膜层厚度、结合力及显微硬度的影响第35-37页
   ·N_2分压对膜层形貌与性能的影响第37-40页
     ·N_2分压对表面形貌的影响第37-38页
     ·氮分压对膜层厚度、结合力及显微硬度的影响第38-40页
   ·靶电流对膜层的影响第40-43页
     ·靶电流对膜层表面形貌的影响第40-41页
     ·合金靶电流对膜层厚度、结合力及显微硬度的影响第41-43页
   ·膜层沉积率第43-45页
   ·离子氮化与离子镀工艺第45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 Ti_(1-x)Al_xN 膜层的组织与性能的研究第46-63页
   ·单层 Ti(1-x)Al_xN 膜层的制备与性能研究第46-54页
     ·单层膜层的表面形貌第46-47页
     ·膜层的成分分析第47-50页
     ·膜层的厚度对比第50页
     ·膜层的相结构分析第50-53页
     ·膜层的显微硬度分析第53-54页
   ·梯度 Ti_(1-x)Al_xN 膜层的工艺与性能研究第54-62页
     ·梯度膜层的制备第55-56页
     ·表面形貌第56页
     ·相结构第56-60页
     ·显微硬度第60-61页
     ·结合力对比第61-62页
   ·本章小结第62-63页
第5章 抗氧化与摩擦磨损性能的研究第63-70页
   ·复合薄膜的抗氧化性能研究第63-65页
     ·不同温度下试样的抗氧化性能第63-64页
     ·800℃下试样的抗氧化性能对比第64-65页
   ·摩擦磨损第65-69页
     ·摩擦磨损特性的对比第67-68页
     ·磨痕形貌对比分析第68页
     ·磨损量分析第68-69页
   ·本章小结第69-70页
结论第70-71页
参考文献第71-74页
攻读学位期间发表的学术论文第74-75页
致谢第75-76页
大摘要第76-80页

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