电容式微机械陀螺仪的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-18页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的研究背景 | 第10-11页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的发展现状 | 第11-15页 |
| ·国外电容式微机械陀螺仪的发展现状 | 第11-13页 |
| ·国内电容式微机械陀螺仪的发展现状 | 第13-15页 |
| ·本课题的研究意义 | 第15-16页 |
| ·论文内容安排 | 第16-18页 |
| 2. 电容式微机械陀螺仪的设计原理 | 第18-30页 |
| ·Coriolis 加速度 | 第18-20页 |
| ·动力学分析 | 第20-23页 |
| ·静电驱动原理 | 第23-25页 |
| ·电容检测原理 | 第25-26页 |
| ·阻尼分析 | 第26-29页 |
| ·压膜阻尼 | 第26-28页 |
| ·滑膜阻尼 | 第28-29页 |
| 本章小结 | 第29-30页 |
| 3. 电容式微机械陀螺仪的结构设计、加工与封装 | 第30-50页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的结构设计 | 第30-42页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的结构及工作原理 | 第30-32页 |
| ·梁结构的设计 | 第32-34页 |
| ·仿真分析 | 第34-37页 |
| ·结构参数的确定及关键参数研究 | 第37-42页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的加工 | 第42-48页 |
| ·加工工艺 | 第42-45页 |
| ·版图设计 | 第45-47页 |
| ·关键工艺分析 | 第47-48页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的封装 | 第48-49页 |
| 本章小结 | 第49-50页 |
| 4. 电容式微机械陀螺仪的误差及残余应力分析 | 第50-60页 |
| ·误差分析 | 第50-55页 |
| ·正交误差 | 第50-51页 |
| ·机械耦合误差 | 第51-52页 |
| ·轴向加速度的影响 | 第52-53页 |
| ·噪声的影响 | 第53-54页 |
| ·温度的影响 | 第54-55页 |
| ·残余应力的分析 | 第55-59页 |
| ·残余应力的产生 | 第55-57页 |
| ·残余应力对陀螺性能的影响 | 第57-58页 |
| ·残余应力的测试 | 第58-59页 |
| 本章小结 | 第59-60页 |
| 5. 电容式微机械陀螺仪接口电路设计及性能测试 | 第60-71页 |
| ·电容式微机械陀螺仪驱动电路的设计 | 第60-65页 |
| ·开环驱动电路 | 第60-61页 |
| ·闭环驱动电路 | 第61-65页 |
| ·电容式微机械陀螺仪检测电路的设计 | 第65-66页 |
| ·电容式微机械陀螺仪的性能测试 | 第66-70页 |
| ·驱动频率的测试 | 第66页 |
| ·栅结构尺寸的测试 | 第66-67页 |
| ·灵敏度的测试 | 第67-70页 |
| 本章小结 | 第70-71页 |
| 6. 结论 | 第71-73页 |
| ·论文的主要内容及结论 | 第71-72页 |
| ·进一步的工作建议 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
