| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·课题背景及意义 | 第11页 |
| ·课题研究现状 | 第11-13页 |
| ·论文内容及特点 | 第13-15页 |
| 第二章 不锈钢管道真空室直流溅射反应镀膜系统装置设计 | 第15-29页 |
| ·镀膜方式选择 | 第15页 |
| ·直流溅射镀膜 | 第15-19页 |
| ·溅射 | 第15-16页 |
| ·辉光放电 | 第16-18页 |
| ·直流溅射镀膜原理 | 第18-19页 |
| ·反应溅射 | 第19页 |
| ·管道真空室镀膜装置 | 第19-21页 |
| ·管道真空室镀膜装置设计 | 第19-20页 |
| ·相关设计问题 | 第20-21页 |
| ·直流磁控溅射镀膜初步研究 | 第21-29页 |
| ·磁控溅射特点 | 第22页 |
| ·磁控溅射的物理机理及意义 | 第22页 |
| ·磁控溅射装置的设计思想 | 第22-23页 |
| ·磁铁的设计目标 | 第23页 |
| ·磁铁的设计参数及计算结果 | 第23-25页 |
| ·直流溅射与磁控溅射区别 | 第25-29页 |
| 第三章 不锈钢管道真空室内壁镀TiN薄膜实验过程 | 第29-33页 |
| ·样品处理 | 第29页 |
| ·镀膜实验过程 | 第29-30页 |
| ·镀膜参数优化与选择 | 第30-33页 |
| 第四章 镀膜结果分析 | 第33-47页 |
| ·常用的样品分析方法介绍 | 第33-39页 |
| ·样品成分检测 | 第33-36页 |
| ·样品厚度分析 | 第36-39页 |
| ·镀膜实验中不同参数条件下样品性能测试及结果分析 | 第39-44页 |
| ·基体温度与样品成分的关系 | 第40-43页 |
| ·放电气压的确定 | 第43页 |
| ·膜层厚度的确定 | 第43-44页 |
| ·最终镀膜参数确定 | 第44-47页 |
| 第五章 镀膜管道真空室热出气率测试实验 | 第47-57页 |
| ·出气率测试原理 | 第47-48页 |
| ·出气率测试装置及测试流程 | 第48-50页 |
| ·测试装置及测试方法 | 第48-50页 |
| ·测试项目 | 第50页 |
| ·出气率测试一些相关问题 | 第50-54页 |
| ·制定严格的热出气率测试流程 | 第50页 |
| ·采用自动烘烤系统 | 第50-51页 |
| ·对真空计编程控制,实现数据定时自动保存 | 第51-54页 |
| ·保持环境温度一致 | 第54页 |
| ·不锈钢材料镀膜前后出气率测试结果 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第六章 镀膜管道真空室同步辐射光致解吸测试实验 | 第57-69页 |
| ·PSD测试基本方法及理论 | 第57-61页 |
| ·3点压强法 | 第57-59页 |
| ·小孔流导法 | 第59-61页 |
| ·PSD测试装置介绍与数据处理 | 第61-63页 |
| ·PSD测试装置介绍 | 第61-62页 |
| ·测试数据处理 | 第62-63页 |
| ·PSD测试过程 | 第63-64页 |
| ·真空室镀膜前后PDF测试结果对比及讨论 | 第64-67页 |
| ·烘烤前阶段不锈钢真空室镀膜前后PSD测试结果对比 | 第64-65页 |
| ·烘烤后阶段不锈钢真空室镀膜前后PSD测试结果对比 | 第65-66页 |
| ·烘烤后经多次测试不锈钢真空室镀膜前后PSD测试结果对比 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67页 |
| ·进一步研究计划 | 第67-69页 |
| 第七章 不锈钢镀膜样品SEY测试实验 | 第69-77页 |
| ·材料的二次电子能谱分析 | 第70-71页 |
| ·真空室材料SEY测试原理 | 第71-72页 |
| ·真空室材料SEY测试装置介绍 | 第72-74页 |
| ·电子发射源及电子束引出 | 第72-73页 |
| ·二次电子收集与测量 | 第73-74页 |
| ·误差分析 | 第74-75页 |
| ·常用加速器真空室材料SEY测量结果及分析 | 第75-77页 |
| 第八章 直流溅射镀膜理论分析 | 第77-97页 |
| ·溅射产额计算 | 第77-86页 |
| ·依据P.Sigmund理论的溅射产额计算 | 第77-83页 |
| ·实际应用过程中的修正 | 第83-86页 |
| ·直流溅射模拟过程描述 | 第86-93页 |
| ·气体分子碰撞理论及碰撞截面的计算 | 第86-89页 |
| ·模拟粒子初始速度及位置的产生 | 第89-90页 |
| ·溅射原子能量及位置分布 | 第90-92页 |
| ·模拟过程及程序流程图 | 第92-93页 |
| ·利用模拟程序得到的相关计算结果 | 第93-95页 |
| ·沉积速率与结构的关系 | 第93-94页 |
| ·沉积速率与电压的关系 | 第94页 |
| ·沉积速率与气压的关系 | 第94-95页 |
| ·程序综合分析及小结 | 第95-97页 |
| 第九章 结论 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-103页 |
| 致射 | 第103-105页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第105页 |
