| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·ZnO 简介 | 第10-13页 |
| ·ZnO 半导体光电子信息功能材料的研究背景及意义 | 第13-16页 |
| ·本论文的研究思路和主要内容 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 ZnO 薄膜的制备 | 第20-32页 |
| ·ZnO 薄膜常用的制备方法 | 第20-25页 |
| ·ZnO 薄膜样品的制备 | 第25-26页 |
| ·纳米薄膜测试技术 | 第26-31页 |
| 参考文献 | 第31-32页 |
| 第三章 衬底温度对ZnO 薄膜结构及其光学特性影响的研究 | 第32-44页 |
| ·衬底加温对ZnO 薄膜结构的影响 | 第32-34页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜光吸收特性的影响 | 第34-38页 |
| ·生长温度对ZnO 薄膜光致发光特性影响的研究 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第四章 氧分压对ZnO 薄膜结构及其光学特性影响的研究 | 第44-50页 |
| ·氧分压变化对ZnO 薄膜结构的影响 | 第44-46页 |
| ·氧分压变化对ZnO 薄膜光吸收特性的影响 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第五章 Ag 掺杂对ZnO 薄膜结构及其紫外荧光发射的影响 | 第50-57页 |
| ·Ag 掺杂ZnO 基纳米薄膜的制备 | 第50-51页 |
| ·结果及讨论 | 第51-55页 |
| ·总结 | 第55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57-58页 |
| ·ZnO 薄膜材料研究的展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附录: 作者攻读硕士期间发表和已完成的论文 | 第60页 |
