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Co-Pt-P磁记录薄膜的制备及相关磁性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-30页
   ·磁记录概述第10-14页
     ·硬盘发展历史与现状第10-11页
     ·硬盘磁记录原理第11-12页
     ·硬盘磁记录基本概念第12-14页
   ·磁记录技术面临的问题及解决方法第14-18页
     ·传统磁记录技术遇到的问题第14-15页
     ·克服超顺磁效应的方法第15-18页
   ·高密度磁记录介质的要求第18-23页
     ·磁性能要求第18-20页
     ·显微组织要求第20-22页
     ·织构控制第22-23页
   ·磁记录介质研究现状第23-26页
     ·Co基合金第23-24页
     ·稀土-过渡金属合金第24-25页
     ·L1_0有序结构合金第25-26页
   ·Co-Pt合金研究进展及本课题的创新性第26-30页
     ·Co-Pt及Co-Pt-P研究现状第26-27页
     ·本课题的创新性及研究内容第27-30页
第二章 实验方法第30-36页
   ·溅射薄膜制备第30-31页
   ·电沉积Co-P靶材第31页
     ·实验工艺第31页
     ·实验步骤第31页
   ·薄膜的性能表征第31-34页
     ·薄膜厚度测量第31-32页
     ·薄膜磁性测量第32-33页
     ·薄膜结构、成分的表征第33-34页
   ·实验过程第34-36页
第三章 电沉积Co-P靶材第36-46页
   ·引言第36页
   ·电沉积原理第36-38页
   ·电沉积Co-P研究进展第38-39页
   ·实验过程第39-40页
   ·实验结果与分析第40-44页
     ·阴极材料对镀层形貌的影响第40页
     ·电流方式对镀层形貌的影响第40-41页
     ·阴极电流密度镀层形貌的影响第41-42页
     ·阴极电流密度对P含量的影响第42-44页
     ·Co-P镀层的晶体结构第44页
   ·本章小结第44-46页
第四章 Co-Pt及Co-Pt-P溅射薄膜研究第46-58页
   ·引言第46页
   ·实验过程及工艺第46-48页
     ·实验过程第46页
     ·薄膜中P,Pt含量的确定第46-48页
   ·Co-12at.%Pt薄膜的磁性能第48-50页
     ·基板温度对Co-12at.%Pt矫顽力的影响第48-50页
   ·Co-12at.%Pt-P薄膜磁性能第50-57页
     ·P含量对薄膜磁性能的影响第50-53页
     ·基板温度对Co-12at.%Pt-P薄膜磁性的影响第53-57页
   ·本章小结第57-58页
第五章 结论与展望第58-60页
   ·结论第58-59页
   ·课题展望第59-60页
参考文献第60-66页
致谢第66-68页
硕士期间发表论文第68页

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