介质移相器用铁电薄膜性能优化研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·铁电薄膜移相器的研究现状 | 第10-12页 |
| ·铁电移相器的基本原理 | 第10-11页 |
| ·铁电薄膜移相器的分类 | 第11-12页 |
| ·介质移相器用铁电薄膜材料的研究现状 | 第12-19页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第12-14页 |
| ·BST铁电薄膜的性能优化 | 第14-18页 |
| ·其它铁电薄膜材料研究 | 第18-19页 |
| ·本论文的研究背景及内容 | 第19-20页 |
| 第二章 铁电薄膜的制备与分析测试 | 第20-28页 |
| ·射频磁控溅射 | 第20-24页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第20-23页 |
| ·射频磁控溅射设备 | 第23-24页 |
| ·实验过程 | 第24-28页 |
| ·工艺流程 | 第24页 |
| ·薄膜制备 | 第24-25页 |
| ·薄膜微结构分析 | 第25-26页 |
| ·薄膜电性能测试 | 第26页 |
| ·薄膜可靠性测试 | 第26-28页 |
| 第三章 BST铁电薄膜 | 第28-45页 |
| ·BST的退火温度研究 | 第28-37页 |
| ·Al_2O_3基片 | 第29-32页 |
| ·LaAlO_3基片 | 第32-33页 |
| ·MgO基片 | 第33-34页 |
| ·退火温度对BST薄膜性能的影响 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| ·BST的择优取向研究 | 第37-42页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第37页 |
| ·性能测试与对比分析 | 第37-41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| ·BST的组分梯度研究 | 第42-45页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第42页 |
| ·单层结构 | 第42-43页 |
| ·梯度结构 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 BZT铁电薄膜 | 第45-60页 |
| ·BZT薄膜的制备和性能测试 | 第45-51页 |
| ·BZT薄膜的制备 | 第45-46页 |
| ·BZT薄膜的性能测试 | 第46-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| ·氧氩比对BZT薄膜性能的影响 | 第51-56页 |
| ·BZT薄膜的制备 | 第51页 |
| ·性能测试与对比分析 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| ·Zr/Ti比对BZT薄膜性能的影响 | 第56-60页 |
| ·BZT薄膜的制备 | 第56页 |
| ·性能测试与对比分析 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 铁电薄膜温度和疲劳特性测试 | 第60-68页 |
| ·铁电薄膜温度特性测试 | 第60-65页 |
| ·铁电薄膜薄膜的介温特性测试 | 第60-61页 |
| ·铁电薄膜温度稳定性测试 | 第61-65页 |
| ·铁电薄膜疲劳特性测试 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第76页 |
