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P-MBE法生长ZnO薄膜及其结构和光学特性的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第8-14页
   ·ZnO 研究的意义第8页
   ·ZnO 的基本性质第8-11页
   ·ZnO的研究现状第11-12页
   ·ZnO研究存在的问题和发展趋势第12页
   ·本论文的工作内容第12-14页
第二章 ZnO制备的主要设备、方法及其形貌结构介绍第14-24页
   ·制备ZnO薄膜主要设备及方法介绍第14-17页
   ·纳米ZnO的表面形貌和结构第17-24页
第三章 ZnO薄膜的制备第24-28页
   ·射频原子源辅助分子束外延(RF-MBE)设备第24页
   ·衬底的选择及清洗第24-25页
   ·ZnO 薄膜制备的条件优化第25-27页
   ·高质量ZnO 薄膜的制备第27-28页
第四章 ZnO 薄膜的结构及其发光特性研究第28-32页
   ·ZnO薄膜的XRD衍射第28-29页
   ·ZnO 薄膜的Raman 散射第29页
   ·ZnO 薄膜的吸收特性第29-30页
   ·ZnO 薄膜的发光特性第30-32页
第五章 结论第32-33页
参考文献第33-38页
索引第38-39页
作者简介第39-40页

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