纳米压痕试验方法研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-20页 |
| 第1章 前言 | 第20-23页 |
| ·研究背景 | 第20-22页 |
| ·本论文研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 文献综述 | 第23-40页 |
| ·压痕硬度简介 | 第23-25页 |
| ·纳米压痕试验的发展历史 | 第25-28页 |
| ·纳米压痕试验原理 | 第28-37页 |
| ·纳米压痕试验装置的组成 | 第28-30页 |
| ·压痕硬度和压痕模量的测量原理 | 第30-35页 |
| ·其它材料参数的测量原理 | 第35-37页 |
| ·压痕硬度H_(IT)与传统维氏硬度HV的关系 | 第37-38页 |
| ·纳米压痕试验的不确定度评估 | 第38-40页 |
| 第3章 试验设备和试验样品 | 第40-45页 |
| ·试验设备介绍 | 第40-43页 |
| ·纳米压痕仪 | 第40-41页 |
| ·其它仪器 | 第41-43页 |
| ·试验样品索引 | 第43-45页 |
| 第4章 纳米压痕试验中的影响因素研究 | 第45-63页 |
| ·接触零点所引起的误差研究 | 第45-48页 |
| ·压头面积函数引起的误差研究 | 第48-51页 |
| ·热漂移引起的误差研究 | 第51页 |
| ·卸载曲线的拟合方法研究 | 第51-53页 |
| ·ST1样品 | 第52页 |
| ·JG1样品 | 第52-53页 |
| ·结果分析 | 第53页 |
| ·卸载法与CSM法差异研究 | 第53-58页 |
| ·ST1样品 | 第54-56页 |
| ·JG1样品 | 第56-58页 |
| ·结果分析 | 第58页 |
| ·压痕间距所引起的误差研究 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 第5章 H_(IT)、HV和HM关系的研究 | 第63-71页 |
| ·钢铁样品理化检验 | 第63-67页 |
| ·H_(IT)、HV和HM试验结果 | 第67-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 第6章 纳米压痕试验方法测量不确定度评估 | 第71-96页 |
| ·使用S_R评估测量不确定度方法的理论推导 | 第71-74页 |
| ·协同试验样品的选择 | 第74-87页 |
| ·JG1样品 | 第75-82页 |
| ·ST1样品 | 第82-86页 |
| ·样品均匀性试验结果分析与讨论 | 第86-87页 |
| ·实验室间比对试验 | 第87-92页 |
| ·比对试验条件 | 第87页 |
| ·比对试验结果 | 第87-90页 |
| ·重复性限和复现性限计算 | 第90-92页 |
| ·不确定度评估结果 | 第92-93页 |
| ·小结 | 第93-96页 |
| 第7章 薄膜样品压痕试验研究 | 第96-105页 |
| ·三种测试方法的比较 | 第96-97页 |
| ·薄膜样品试验 | 第97-104页 |
| ·Cu/Si薄膜 | 第97-98页 |
| ·TiN/Fe薄膜 | 第98页 |
| ·AlN/Si薄膜 | 第98-99页 |
| ·氮化白亮层 | 第99-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 第8章 结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 附录 | 第111-114页 |
