| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACTS | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·太阳电池的发展简介 | 第9-16页 |
| ·第一代太阳电池 | 第10-11页 |
| ·第二代太阳电池 | 第11-15页 |
| ·第三代太阳电池 | 第15-16页 |
| ·小结 | 第16页 |
| ·AZO透明导电膜在薄膜太阳电池中的应用 | 第16-17页 |
| ·AZO透明导电膜的研究现状和目前主要存在的问题 | 第17页 |
| ·开题思想及主要研究的内容 | 第17-19页 |
| 第二章 AZO透明导电薄膜特点及研究现状 | 第19-27页 |
| ·透明导电膜与透明导电氧化物薄膜 | 第19页 |
| ·AZO薄膜的结构特性 | 第19-20页 |
| ·AZO的光电性能简介 | 第20-21页 |
| ·AZO的光学性能 | 第20页 |
| ·AZO薄膜的电学特性 | 第20-21页 |
| ·AZO的优势 | 第21-22页 |
| ·AZO的主要制备方法 | 第22-23页 |
| ·AZO的应用 | 第23-24页 |
| ·AZO国内外的研究现状 | 第24-25页 |
| ·AZO薄膜在国外的研究发展概况 | 第24-25页 |
| ·AZO薄膜在国内的研究概况 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 AZO薄膜的制备方法及其测试手段 | 第27-34页 |
| ·电子束蒸发法制备AZO薄膜的设备简介及工艺原理 | 第27-30页 |
| ·电子束蒸发制备薄膜的工艺原理 | 第27-28页 |
| ·电子束蒸发设备的结构简介 | 第28-30页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·靶材料的制备 | 第30页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第30-31页 |
| ·镀膜 | 第31页 |
| ·AZO薄膜样品的性能表征 | 第31-33页 |
| ·结晶学分析 | 第31-32页 |
| ·电学性能测试 | 第32-33页 |
| ·表面形貌测试 | 第33页 |
| ·光学性能测试 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 AZO薄膜的制备及数据分析 | 第34-44页 |
| ·实验参数 | 第34页 |
| ·所的样品的性能测试分析 | 第34-43页 |
| ·电学性能测试 | 第34-37页 |
| ·样品的表面形貌 | 第37-38页 |
| ·光学性能测试 | 第38-42页 |
| ·XRD分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 背表面透明导电膜的制备及性能研究 | 第44-53页 |
| ·背电极在薄膜太阳电池中的使用 | 第44-45页 |
| ·实验方法 | 第45-47页 |
| ·电子束蒸发法制备的AZO薄膜与N型非晶硅的接触特性 | 第47-49页 |
| ·AZO薄膜掺杂量对接触电阻的影响 | 第47-48页 |
| ·AZO薄膜厚度对接触电阻的影响 | 第48-49页 |
| ·电子束蒸发法制备AZO/Al的复合反射率 | 第49-50页 |
| ·磁控溅射法制备的AZO薄膜与N型非晶硅的接触特性 | 第50-51页 |
| ·磁控溅射法制备AZO/Al的复合反射率 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-61页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |