静电悬浮加速度计敏感结构加工与检测技术研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题来源与意义 | 第11-13页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第11-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-18页 |
| ·静电悬浮加速度计原理与研究现状 | 第13-15页 |
| ·超精密加工的实现方法及超声研抛国内外现状 | 第15-17页 |
| ·形位误差检测技术 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 静电悬浮加速度计敏感结构的加工检测方案 | 第19-26页 |
| ·敏感结构的特点、精度指标及加工工艺路线分析 | 第19-20页 |
| ·电极框的误差修正加工方案 | 第20-23页 |
| ·电极框的形位误差检测方案 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 电极框形位误差的测量与评定方法 | 第26-41页 |
| ·高精度垂直度误差的测量 | 第26-28页 |
| ·测量方法与实验系统 | 第26-27页 |
| ·测量步骤 | 第27-28页 |
| ·高精度垂直度误差的评定 | 第28-37页 |
| ·测量数据预处理 | 第28-29页 |
| ·垂直度误差的最小二乘评定 | 第29-32页 |
| ·垂直度误差的鞍点规划评定 | 第32-36页 |
| ·实验结果及分析 | 第36-37页 |
| ·电极框形位误差的测量 | 第37-40页 |
| ·电极框形位误差测量 | 第37-39页 |
| ·形位误差评定软件设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 超声研抛系统设计及实验装置搭建 | 第41-50页 |
| ·超声振动系统设计与选型 | 第41-43页 |
| ·超声研抛工具的有限元优化设计 | 第43-49页 |
| ·超声研抛工具的结构设计 | 第43-44页 |
| ·超声研抛工具的参数设计 | 第44-48页 |
| ·设计结果的实验验证 | 第48-49页 |
| ·超声研磨与抛光装置搭建 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 超声研抛机理及工艺实验研究 | 第50-64页 |
| ·超声研抛的材料去除机理 | 第50-51页 |
| ·去除函数建模与分析 | 第51-57页 |
| ·理想去除函数建模 | 第51-54页 |
| ·去除函数仿真与实验研究 | 第54-57页 |
| ·超声研抛工艺实验 | 第57-63页 |
| ·超声研磨去除效率的正交实验研究 | 第57-59页 |
| ·超声抛光效率的研究方法 | 第59-61页 |
| ·超声抛光表面粗糙度的实验研究 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第64-66页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·工作展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第70页 |
