| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·湿度和湿度的表示方法 | 第8-9页 |
| ·湿度的标准 | 第9-10页 |
| ·湿度传感器的表征参数 | 第10-12页 |
| ·传感器的分类 | 第12-13页 |
| ·湿度传感器的发展现状及未来发展趋势 | 第13-16页 |
| 第二章 高分子电阻型湿敏元件特性及敏感机理的研究 | 第16-32页 |
| ·高分子电阻型湿敏元件的制作工艺 | 第17-19页 |
| ·湿敏元件的测试装置 | 第19-22页 |
| ·湿度发生装置 | 第19-20页 |
| ·测试方法 | 第20-22页 |
| ·高分子电阻型湿敏元件的电特性测试 | 第22-27页 |
| ·高分子电阻型湿敏元件的敏感机理分析 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于LICL 掺杂的A-SBA-15 电阻型湿敏元件及敏感机理的研究 | 第32-48页 |
| ·材料的制备和表征 | 第33-38页 |
| ·材料的制备方法 | 第33-35页 |
| ·材料的表征 | 第35-38页 |
| ·LICL 掺杂A-SBA15 电阻型湿敏元件及电特性测试 | 第38-44页 |
| ·基于介孔硅分子筛材料的湿敏元件的制作过程 | 第38-39页 |
| ·基于介孔硅分子筛材料湿敏元件的电特性测试 | 第39-44页 |
| ·基于A-SBA15 系列材料电阻型湿敏元件敏感机理初探 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 基于LICL 掺杂的P-SBA-15 电阻型湿敏元件及敏感机理的研究 | 第48-61页 |
| ·材料的制备及表征 | 第48-53页 |
| ·材料的制备方法 | 第48-49页 |
| ·材料的表征 | 第49-53页 |
| ·LICL 掺杂P-SBA15 电阻型湿敏元件及电特性测试 | 第53-57页 |
| ·基于P-SBA15 系列材料电阻型湿敏元件敏感机理初探 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 摘要 | 第67-69页 |
| ABSTRACT | 第69-71页 |
