α-氨基酸癸胺衍生物缓蚀性能的理论研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·缓蚀剂简介 | 第8-11页 |
| ·缓蚀剂的定义 | 第8页 |
| ·缓蚀剂的分类 | 第8-9页 |
| ·缓蚀剂的发展 | 第9-11页 |
| ·缓蚀剂缓蚀机理研究进展 | 第11-12页 |
| ·研究内容 | 第12-14页 |
| ·研究对象 | 第12页 |
| ·研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 理论计算方法 | 第14-18页 |
| ·量子化学计算 | 第14-16页 |
| ·基本原理 | 第14页 |
| ·理论方法 | 第14-16页 |
| ·分子动力学模拟 | 第16-18页 |
| ·基本原理 | 第16页 |
| ·理论方法 | 第16-18页 |
| 第三章 α-氨基酸癸胺衍生物缓蚀性能的理论研究 | 第18-26页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·计算方法 | 第18-19页 |
| ·结果与讨论 | 第19-25页 |
| ·前线轨道分布 | 第19-20页 |
| ·全局反应活性 | 第20-22页 |
| ·局部反应活性 | 第22-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第四章 α-氨基酸癸胺衍生物在金属表面的吸附行为 | 第26-37页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·计算方法 | 第26-28页 |
| ·结果与讨论 | 第28-36页 |
| ·单个缓蚀剂分子在金属表面的吸附行为 | 第28-31页 |
| ·缓蚀剂单层膜在金属表面的吸附行为 | 第31-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第五章 腐蚀介质在缓蚀剂膜中的扩散行为研究 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·计算方法 | 第37-39页 |
| ·缓蚀剂膜密度计算细节 | 第37页 |
| ·扩散模型计算细节 | 第37-39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-45页 |
| ·缓蚀剂膜的密度 | 第39页 |
| ·腐蚀粒子的扩散系数 | 第39-42页 |
| ·缓蚀剂膜的自由体积 | 第42-43页 |
| ·缓蚀剂膜的自扩散系数(D’) | 第43-44页 |
| ·缓蚀剂膜与腐蚀粒子之间的相互作用 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |
